杨凯
- 作品数：7 被引量：1H指数：1
- 供职机构：深圳大学更多>>
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- 相关领域：理学一般工业技术化学工程更多>>
- 一种二氧化钒薄膜低温沉积方法
- 本发明公开了一种低温沉积二氧化钒薄膜的方法，采用磁控溅射技术，以金属钒或钒合金为靶材，以氧气为反应气体，氩气为溅射气体；制备薄膜前，先将真空室抽至低于1×10<Sup>-3</Sup>Pa本底真空，然后通入氧气和氩气混合...
- 张东平朱茂东杨凯范平蔡兴民罗景庭钟爱华林思敏
- 文献传递
- 一种增强二氧化钒薄膜相变性能的方法
- 本发明提供一种增强二氧化钒薄膜相变性能的方法，包括步骤：首先，将采用物理或化学方法在清洁后的基底上沉积二氧化钒薄膜；对所制备的二氧化钒薄膜进行光电性能和微结构表征，得到薄膜的化学计量比和微结构信息；将上述制备得到的二氧化...
- 张东平杨凯朱茂东秦晓楠关天锐范平蔡兴民罗景庭钟爱华
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- 基于数字孪生技术的放射科设备智能化管理系统及方法
- 本发明公开了基于数字孪生技术的放射科设备智能化管理系统及方法，所述系统包括数据采集模块、数字孪生模型构建模块、核心处理模块以及用户交互模块；所述方法包括：S1：数据采集，S2：数字孪生模型构建，S3：实时监测与预警，S4...
- 乐洪波吴松杨凯张慧红周曦
- 一种增强二氧化钒薄膜相变性能的方法
- 本发明提供一种增强二氧化钒薄膜相变性能的方法，包括步骤：首先，将采用物理或化学方法在清洁后的基底上沉积二氧化钒薄膜；对所制备的二氧化钒薄膜进行光电性能和微结构表征，得到薄膜的化学计量比和微结构信息；将上述制备得到的二氧化...
- 张东平杨凯朱茂东秦晓楠关天锐范平蔡兴民罗景庭钟爱华
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- 一种二氧化钒薄膜低温沉积方法
- 本发明公开了一种低温沉积二氧化钒薄膜的方法，采用磁控溅射技术，以金属钒或钒合金为靶材，以氧气为反应气体，氩气为溅射气体；制备薄膜前，先将真空室抽至低于1×10<Sup>‑3</Sup>Pa本底真空，然后通入氧气和氩气混合...
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- 氧分压对磁控溅射VO_2薄膜相变性能的影响被引量：1
- 2015年
- 采用直流反应磁控溅射工艺在不同氧分压下制备VO2相变薄膜.分别用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、四探针方阻测量系统和分光光度计对薄膜微结构、表面形貌、电学及光学特性进行表征.测量结果表明,薄膜样品是由包含VO2相在内的多相复杂体系构成的,随着氧分压的增加,薄膜中高价态相的钒氧化物增多.所有薄膜均呈现出压应力,压应力大小随着氧分压的升高而逐渐减小.方块电阻温变结果表明,薄膜具有明显半导体-金属相变特性,相变性能随着氧分压的升高呈先增后减特征.高低温透射谱表明,薄膜具有良好红外开关特性.氧分压改变导致膜中氧空位缺陷密度和微结构变化是VO2薄膜半导体-金属相变性能改变的主因.本实验条件下,具有良好热致相变性能的VO2薄膜的最佳生长氧分压是0.04 Pa.
- 张东平朱茂东杨凯刘毅黄仁桂蔡兴民范平
- 关键词：凝聚态物理VO2薄膜磁控溅射氧分压微结构
- 不同膜层匹配下二氧化钒薄膜光电性能研究
- 现代城市的楼宇建筑中,为了美观和提高采光率,玻璃门窗及幕墙占用面积不断提高。为了避免普通玻璃节能性差、耗能严重的问题,使用节能镀膜玻璃成为现代玻璃大厦最常见的节能措施,其中最常见的为Low-e镀膜玻璃。然而Low-e镀膜...
- 杨凯
- 关键词：VO2薄膜缓冲层
- 文献传递
