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一种钢制齿轮的表面复合处理方法: 本发明公开了一种钢制齿轮的表面复合处理方法，能够提高齿轮表面硬度、耐磨性和膜基结合强度。该方法包括的步骤包括：工件前期处理；抽真空及工件预热；等离子体清洗；等离子氮化处理；二次等离子体清洗；非平衡磁控溅射制备氮化物涂层；...; 郭媛媛李建伟吴川孟见成吴法宇周艳文王复栋; 文献传递

磁控溅射装置中氩—电负性气体放电研究: 磁控溅射是应用最普遍的一种溅射沉积技术。氩与电负性气体放电在磁控溅射薄膜制备中发挥着极其重要的作用。等离子体中各种粒子的分布,电子温度的大小对薄膜的质量都有极其重要的影响。本项研究通过实验讨论了不同溅射电源,不同功率,A...; 吴川; 关键词：磁控溅射等离子体数值模拟气体放电; 文献传递

磁控溅射中电磁场分布二维模拟: 2015年; 本文采用计算机FORTRAN语言自主编程,通过建立通电线圈磁场的数学模型,对磁控溅射靶附近由通电线圈产生的磁场分布进行了二维数值模拟计算。计算表明当内、外线圈加反向电流,增加内或外线圈电流,可使通电线圈产生的磁场非平衡度增加,其增加强度由电流增加强度所决定。随着内或外线圈电流增加,真空腔内磁场强度分布更均匀。通过调节内、外电线圈电流,控制磁场分布,从而控制其对等离子体密度及能量分布,可使等离子体因磁场的均匀分布而在真空腔内分布均匀化。另外,这种外加的电磁场还会使磁控装置本体磁场增强,因此对磁控溅射产生的等离子体有增强作用。此结果为磁控溅射装置上磁场配置提供重要参考依据。; 王晓明吴川周艳文张绪跃王复栋王明磊; 关键词：磁场分布磁控溅射数值模拟

粉末靶制备的AZO/Ag/AZO透明导电薄膜的光电性能被引量：2: 2015年; 室温下,采用射频磁控溅射AZO粉末靶和Ag靶在玻璃基底上制备Ag层厚度分别为12 nm和15 nm两组对称结构掺铝氧化锌/银/掺铝氧化锌(AZO/Ag/AZO)透明导电薄膜,研究了Ag层和AZO层厚度对薄膜光电性能的影响。结果表明:3层薄膜的可见光区平均透光率达到了80%,550 nm处的最高透过率达到了88%,方块电阻小于5Ω/□。Ag层厚度是影响AZO/Ag/AZO薄膜光电性能的主要因素,AZO层的厚度对薄膜光学性能影响较大。; 刘思宁周艳文吴川吴法宇; 关键词：射频磁控溅射

粉末靶磁控溅射制备AZO/Ag/AZO透明导电薄膜的特性被引量：1: 2015年; 室温下采用射频磁控溅射粉末靶,在玻璃基底上制备了掺铝氧化锌/银/掺铝氧化锌(AZO/Ag/AZO)三层透明导电薄膜。通过优化中间银层厚度,优化了三层透明导电薄膜的光电性能。采用原子力显微镜和X射线衍射仪分别对薄膜的形貌和结构进行检测分析;采用紫外可见分光光度计和霍尔效应仪分别对薄膜的光电性能进行检测分析。结果表明,所制备的三层膜表面平整,颗粒大小错落均称;三层膜呈现多晶结构,AZO层薄膜具有(002)择优取向的六方纤锌矿结构,Ag层薄膜具有(111)择优取向的立方结构;当三层薄膜为AZO(20 nm)/Ag(12 nm)/AZO(20 nm)时,在550 nm处的透光率为88%,方块电阻为4.3Ω/□,电阻率为2.2×10^(-5)Ω·cm,载流子浓度为2.8×1022/cm^3,迁移率为10 cm^2/(V·s),品质因子为3.5×10-2Ω^(-1)。; 刘思宁周艳文吴川吴法宇; 关键词：射频磁控溅射

一种钢制齿轮的表面复合处理方法: 本发明公开了一种钢制齿轮的表面复合处理方法，能够提高齿轮表面硬度、耐磨性和膜基结合强度。该方法包括的步骤包括：工件前期处理；抽真空及工件预热；等离子体清洗；等离子氮化处理；二次等离子体清洗；非平衡磁控溅射制备氮化物涂层；...; 郭媛媛李建伟吴川孟见成吴法宇周艳文王复栋; 文献传递

一种预防靶中毒的等离子体增强磁控溅射设备: 本实用新型涉及一种预防靶中毒的等离子体增强磁控溅射设备，包括工件架、磁控靶、热丝线、真空镀膜室、反应气体气路管、惰性气体气路管，工件设置在工件架内，四个磁控靶均布在真空镀膜室四周，热丝线、反应气体气路管、惰性气体气路管设...; 周艳文孟见成吴川高健波李建伟赵卓佟欣儒郭媛媛吴法宇王晓明; 文献传递

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吴川