李佳君
- 作品数：2 被引量：3H指数：1
- 供职机构：中国科学院大学材料科学与光电技术学院更多>>
- 发文基金：中国科学院“百人计划”国家自然科学基金北京市科技计划项目更多>>
- 相关领域：理学更多>>
- 磁控溅射铜膜与基底结合强度的分析研究被引量：3
- 2016年
- 根据磁控溅射金属铜膜在超声清洗中从硅基底上发生剥落的现象,分析了样品在声场中的运动和受力状态,发现样品会发生受迫振动,拉-拉周期应力引起膜基界面的失效是薄膜脱落的主要原因,而空化作用是次要原因。通过建立的力学模型,计算了膜基结合强度。与划痕法等所测得的膜基结合强度值的比较,计算值与测量值在数量级和与溅射参数变化趋势上有很好的吻合。此评价方法可以应用于溅射铜膜/多晶金刚石的膜基体系上,并研究了超声参数、基底表面形貌、基底成份等因素对膜基结合强度的影响。
- 李佳君刘浩左永刚白旸袁禾蔚何其宇姜龙郭辉孙振路陈广超
- 关键词：材料检测与分析技术超声清洗受迫振动磁控溅射铜薄膜
- 金刚石的射频喷射等离子体化学气相沉积及其Ni-N掺杂的研究
- 2015年
- 对自行设计的RF喷射等离子体增强化学气相沉积系统(RF plasma jet CVD)进行了电子温度和电子密度的模拟计算分析。在优化的参数下进行了金刚石膜体的制备,并应用光发射谱技术(OES)在线分析了等离子体的成分。通过Raman、XRD和SEM分析了沉积样品的成分、晶体结构和形貌。通过在反应气体中加入NH3,并利用载气技术将含有Ni元素的金属有机物引入到沉积区,进行了Ni、N共掺杂沉积。利用XPS以及PL谱分析了掺杂样品的化学价键和光致发光特性,结果发现Ni-N价键的存在以及在800 nm附近的光发射峰。
- 石彦超李彬李佳君左勇刚白旸刘浩孙占峰马殿理陈广超
- 关键词：化学气相沉积金刚石
