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文献类型

  • 5篇中文期刊文章

领域

  • 3篇电子电信
  • 2篇理学

主题

  • 3篇单晶
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  • 1篇喇曼光谱
  • 1篇计算机
  • 1篇光谱

机构

  • 5篇中国电子科技...

作者

  • 5篇窦瑛
  • 4篇孟大磊
  • 3篇程红娟
  • 2篇徐永宽
  • 2篇庞子博
  • 1篇张政
  • 1篇张皓
  • 1篇武聪
  • 1篇马思睿
  • 1篇陈建丽

传媒

  • 3篇半导体技术
  • 1篇波谱学杂志
  • 1篇微波学报

年份

  • 1篇2020
  • 1篇2017
  • 3篇2015
5 条 记 录,以下是 1-5
排序方式:
DAST源粉表征与晶体制备
2015年
通过X射线粉末衍射、核磁共振波谱法对制得的DAST源粉进行表征,确证其分子结构并计算出源粉纯度为99.7%。然后使用该DAST源粉配制其甲醇溶液,并利用溶液降温法通过自发成核过程培养出尺寸为(2~3)mm×(2~3)mm×(0.3~0.5)mm的DAST晶体。
庞子博孟大磊窦瑛程红娟徐永宽
关键词:太赫兹DAST晶体
SiC单晶生长界面形状计算机模型的建立及验证被引量:2
2015年
利用多物理场耦合模拟软件研究了3英寸(1英寸=2.54 cm)碳化硅(Si C)单晶生长中感应线圈位置对单晶生长系统温度场的影响。分析了感应线圈位置变化对晶体表面径向温度、晶体内部轴向温度以及晶体生长界面形状的影响。同时分析了不同生长时期晶体的界面形状和各向温差的变化规律,建立了3英寸Si C单晶生长界面形状计算机模型,进而将计算机模拟得到的晶体界面形状与单晶生长对照实验获得晶体的界面形状相对比,验证了该模型的可靠性。以此为依据,优化了单晶生长工艺参数,获得了理想的适合3英寸Si C单晶生长的温度场,并成功获得了高质量的3英寸Si C单晶。
窦瑛程红娟孟大磊
关键词:数值模拟SIC单晶温度场
利用显微喇曼光谱进行SiC单晶片应力分析
2017年
为了对4H-SiC单晶片进行无损应力表征,采用显微喇曼光谱仪测量了3英寸(1英寸=2.54 cm)和4英寸4H-SiC单晶片的显微喇曼光谱,并依据喇曼频移峰的移动及喇曼频移峰的半高宽(FWHM)分析SiC单晶片中呈现的应力类型和应力大小。在显微喇曼光谱中,4H-SiC单晶片的横向折叠光学(TO)模为表征单晶片应力的特征峰,其无应力状态的标准峰位值为777 cm^(-1)。对4H-SiC单晶片进行应力分析,发现3英寸和4英寸SiC单晶片内喇曼频移峰均发生蓝移和红移,表明单晶片内同时存在张应力和压应力。相比生长初期的样品,晶体生长末期的应力值有不同程度的升高,同时单晶片的喇曼频移峰的FWHM变窄,表明生长末期的单晶片结晶质量高于生长初期。
窦瑛张颖
关键词:4H-SIC单晶片应力分析
核磁共振波谱法表征DAST分子结构
2015年
DAST晶体(即4-N,N-二甲胺基-4’-N’-甲基-氮杂芪的对甲苯磺酸盐晶体)具有优良的二阶非线性光学性能和电光效应特性,可用于红外至太赫兹波段辐射与检测领域.为了表征DAST源粉分子结构及纯度,选择CD3OD和DMSO-d6两种溶剂分别对DAST源粉进行了1H NMR、13C NMR、1H-1H COSY、HSQC和HMBC表征.通过对谱峰的归属及分析发现,DAST在CD3OD溶液中倾向于以离子对状态存在,而在DMSO-d6溶液中倾向于以解离状态存在,并根据谱峰的变化推测了DAST在从CD3OD溶液环境向DMSO-d6溶液环境变化时解离过程中电子云在共轭结构上重新分布的规律和骨架的变化情况.
庞子博孟大磊窦瑛马思睿武聪程红娟徐永宽
关键词:NMRDAST太赫兹
SiC单晶体放射状裂纹缺陷研究
2020年
在采用物理气相传输(PVT)法生长碳化硅(SiC)单晶的过程中,放射状裂纹是常见的缺陷。使用微分干涉显微镜对SiC单晶体和晶体抛光片表面形貌进行观测,结合晶体突变光滑面生长模型,对PVT法生长的SiC单晶放射状裂纹缺陷的形成机理进行了研究,并提出了消除或抑制放射状裂纹缺陷产生的方法。研究结果表明,放射状裂纹的出现与PVT生长过程中晶体微管密度紧密相关。在晶体生长初期,晶体生长平台平铺至尺寸较大的微管后形成微裂纹,这些微裂纹会随着晶体生长中的应力释放而沿晶体径向增殖、汇聚,最终与径向上的其他微裂纹连接成宏观放射状裂纹。通过提高SiC籽晶质量(低微管密度)、优化生长工艺参数可有效抑制放射状裂纹的产生。
张皓张政孙科伟陈建丽孟大磊郭森窦瑛
关键词:微管
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