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张琪

作品数：17 被引量：5H指数：2
供职机构：杭州电子科技大学更多>>
发文基金：浙江省自然科学基金国家自然科学基金浙江省科技厅项目更多>>
相关领域：理学自动化与计算机技术文学一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 12篇专利
  • 3篇期刊文章
  • 2篇学位论文

领域

  • 2篇自动化与计算...
  • 2篇理学
  • 1篇电子电信
  • 1篇一般工业技术
  • 1篇文学

主题

  • 9篇氮化
  • 9篇氮化硼
  • 8篇六方氮化硼
  • 7篇氮化硼薄膜
  • 3篇气相沉积
  • 3篇金属
  • 3篇金属催化剂
  • 3篇化学气相
  • 3篇化学气相沉积
  • 3篇催化
  • 3篇催化剂
  • 2篇低毒性
  • 2篇毒性
  • 2篇锻炼
  • 2篇氧化锌薄膜
  • 2篇有机溶剂
  • 2篇溶剂
  • 2篇软光刻
  • 2篇腿部
  • 2篇屏蔽材料

机构

  • 17篇杭州电子科技...

作者

  • 17篇张琪
  • 13篇吕燕飞
  • 13篇赵士超
  • 4篇王昕
  • 3篇张志豪
  • 2篇吴参
  • 2篇吴斌
  • 2篇李玉伟
  • 1篇李玉伟

传媒

  • 2篇杭州电子科技...
  • 1篇大学物理实验

年份

  • 1篇2022
  • 1篇2020
  • 1篇2019
  • 4篇2018
  • 1篇2017
  • 8篇2016
  • 1篇2015
共 17 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
六方氮化硼原子层薄膜的制备研究被引量：3
2015年
化学气相沉积法制备六方氮化硼原子层薄膜一直是研究的热点和难点,薄膜结晶质量会直接影响到石墨烯晶体管中石墨烯电子迁移率的高低。为提高六方氮化硼原子层薄膜的结晶质量,采用低压化学气相沉积法,以硼烷氨作为前驱物,铜箔作为基底,研究了氢气流量和前驱物温度对六方氮化硼原子层薄膜生长的影响。研究结果发现,较低的氢气流量有助于薄膜的连续生长,而前驱物温度对薄膜生长影响较小。
李玉伟赵士超吕燕飞张琪
关键词：六方氮化硼
一种氧化硅刻蚀的方法
本发明涉及一种氧化硅刻蚀的方法。软光刻技术相对于传统光刻技术，具有方便灵活易于实现的优点，不仅如此它还能用于刻蚀复杂的空间三维结构。光刻中常用的刻蚀剂是氢氟酸，氢氟酸具有很强的腐蚀性和毒性，在条件一般的实验室中是不适合应...
赵士超张琪张志豪吕燕飞金圣忠王昕
文献传递
一种六方氮化硼薄膜的转移方法
本发明公开了一种六方氮化硼薄膜的转移方法，现有的化学气相沉积法(CVD)制备的二维(2D)原子层材料，通常是长在金属催化剂表面上的，然后用聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)作辅助，将2D材料转移到目标基底上，最后用有机溶剂去除...
赵士超金圣忠张琪吴斌吕燕飞
文献传递
一种紫外吸收薄膜的制备方法
本发明公开了一种紫外吸收薄膜材料的制备方法。近紫外光吸收屏蔽薄膜常见的有氧化锌薄膜，氧化锌薄膜化学性质不够稳定比如遇到弱酸即溶解。六方氮化硼化学稳定性好，薄膜柔韧性好，光学禁带宽度6.1eV，能够吸收屏蔽202nm附近的...
赵士超张琪李玉伟吕燕飞金圣忠王昕
文献传递
一种石墨烯-氮化硼异质相复合薄膜材料的制备方法
本发明涉及一种石墨烯-氮化硼异质相复合薄膜材料的制备方法。目前石墨烯和氮化硼原子层薄膜的均可通过化学气相沉积法生长，石墨烯氮化硼异质相薄膜通过分步石墨烯和氮化硼然后转移至基底表面实现复合薄膜的制备，这种方法往往造成石墨烯...
赵士超张琪吕燕飞
文献传递
一种锻炼腿部脚部的复健装置及其复健方法
本发明公开了一种锻炼腿部脚部的复健装置及其复健方法。腿脚受伤者用现有走步机进行复健时易发生二次损伤。本发明一种锻炼腿部脚部的复健装置，包括走步机、机架、上拉机构、激光指示灯和红外传感器。走步机包括外壳、传送辊、传送带和传...
吴参于大川许巧林张琪
六方氮化硼的制备、性能和应用研究
六方氮化硼（h-BN）薄膜是一种性能优异二维介电材料，被广泛应用于各个领域。本文采用低压化学气相沉积（LPCVD）合成h-BN原子层薄膜，对h-BN表面PMMA残留物的去除方法、h-BN的热稳定性和h-BN薄膜对Cu的保...
张琪
关键词：热稳定性
文献传递
一种锻炼腿部脚部的复健方法
本发明公开了一种锻炼腿部脚部的复健装置及其复健方法。腿脚受伤者用现有走步机进行复健时易发生二次损伤。本发明一种锻炼腿部脚部的复健装置，包括走步机、机架、上拉机构、激光指示灯和红外传感器。走步机包括外壳、传送辊、传送带和传...
吴参于大川许巧林张琪
文献传递
一种降低六方氮化硼二维薄膜厚度的方法
本发明涉及一种降低六方氮化硼二维薄膜厚度的方法。目前六方氮化硼原子层薄膜的可通过化学气相沉积法生长，但六方氮化硼原子层薄膜生长质量不高，比如单晶晶畴尺寸小，薄膜表层有分散的氮化硼颗粒物或连续的颗粒膜，这些都影响到氮化硼薄...
赵士超张琪吕燕飞金圣忠
文献传递
稳态平板法在热电器件热电转换效率测试中的应用被引量：2
2016年
将稳态平板法测导热系数的实验应用于热电器件热电转换效率的测试,通过测量输入器件的传热速率和负载的输出电功获得热电器件的热电转换效率。研究发现,稳态平板法可以测量工作温度在室温到100℃范围内热电器件的热电转换效率。
赵士超张琪吕燕飞张志豪
关键词：热电器件热电转换效率
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