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酚醛树脂对光刻胶性能的影响被引量：2: 2002年; 通过光刻胶在显影过程中的理论分析,重点论述了酚醛树脂的分子量及其分布、序列结构、甲酚异构体的比例对光刻胶性能的影响,得出的结果可在设计酚醛树脂时作参考。; 夏伟如章舒夏敏; 关键词：酚醛树脂光刻胶分子量分子量分布微电子技术光致抗蚀剂

正性光致抗蚀剂用酚醛树脂的制备被引量：3: 2002年; 采用4-甲基苯酚、3-甲基苯酚与甲醛,经两步法反应制备了一系列正性光致抗蚀剂用酚醛树脂.制备的酚醛树脂的重均相对分子质量及相对分子质量分布分别在(5～17)×103和2.75～11.67范围内.探讨了甲醛用量、反应时间、催化剂用量、水选对相对分子质量及相对分子质量分布的影响.增加甲醛和催化剂用量将使相对分子质量增大、相对分子质量分布变宽.延长反应时间也将使相对分子质量分布变宽.但增加水洗次数将使相对分子质量减小相对分子质量分布变窄.结果表明,通过改变反应条件可有效地控制酚醛树脂的相对分子质量及相对分子质量分布.; 夏伟如林保平夏敏潘英; 关键词：酚醛树脂相对分子质量甲醛

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夏敏