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彭富强
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1
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供职机构:
国家电网公司
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合作作者
朱远志
北方工业大学
张雅峰
北京送变电公司
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作者
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张雅峰
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朱远志
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彭富强
年份
1篇
2015
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一种可发射平行光测量表面三维形貌的激光干涉仪系统
本发明涉及一种可发射平行光测量表面三维形貌的激光干涉仪系统,其特征在于,包括分光镜,用于将平行光分成满足相干光束条件的两束光;设置于分光镜右侧的参考镜;压电陶瓷及其驱动电路,用于产生时间序列上的多幅干涉图;激光器,设置于...
朱远志
张雅峰
彭富强
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