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孙洋
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沈阳大学
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何贵民
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张业民
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2篇
2015
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一种氮化钛铝锆铌氮梯度硬质反应膜的制备方法
一种氮化钛铝锆铌氮梯度硬质反应膜的制备方法,其制备方法依次包括:1、沉积技术及靶材成分的确定;2、工件的选择与前处理;3、预轰击工艺的确定;4、沉积工艺的确定;5、真空加热处理;6、工件旋转。本发明降低了镀膜成本,保证了...
张钧
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一种氮化钛铝锆铌氮梯度仿金装饰膜层的制备方法
一种氮化钛铝锆铌氮梯度仿金装饰膜层的制备方法,其制备方法依次包括:1、沉积技术及靶材成分的确定;2、工件的选择与前处理;3、预轰击工艺的确定;4、沉积工艺的确定;5、真空加热处理;6、工件旋转。本发明相比于TiN等传统仿...
张钧
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