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刘国文

作品数：65 被引量：2H指数：1
供职机构：北京航天控制仪器研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信机械工程交通运输工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 58篇专利
  • 5篇期刊文章
  • 2篇会议论文

领域

  • 14篇自动化与计算...
  • 9篇电子电信
  • 7篇机械工程
  • 3篇交通运输工程
  • 2篇文化科学
  • 1篇航空宇航科学...

主题

  • 28篇加速度
  • 28篇加速度计
  • 15篇MEMS加速...
  • 12篇封装
  • 10篇电极
  • 10篇圆片
  • 10篇三明治
  • 10篇键合
  • 8篇应力
  • 8篇温度稳定性
  • 6篇弹性梁
  • 6篇应力释放
  • 6篇圆片级
  • 6篇陀螺
  • 6篇锚点
  • 6篇封装结构
  • 5篇音叉
  • 5篇微加速度计
  • 5篇感器
  • 5篇刚度

机构

  • 65篇北京航天控制...
  • 5篇浙江大学
  • 1篇哈尔滨工业大...
  • 1篇黑龙江大学
  • 1篇中国航天科技...

作者

  • 65篇刘国文
  • 55篇刘福民
  • 27篇刘宇
  • 25篇徐宇新
  • 17篇徐杰
  • 13篇王学锋
  • 10篇梁德春
  • 7篇邢朝洋
  • 7篇庄海涵
  • 4篇万蔡辛
  • 2篇王岩
  • 2篇李丹东
  • 2篇张玲
  • 2篇董景新
  • 2篇胡启方
  • 2篇王超
  • 2篇薛旭
  • 2篇张承亮
  • 1篇霍明学
  • 1篇金仲和

传媒

  • 1篇黑龙江大学自...
  • 1篇中国惯性技术...
  • 1篇导航与控制
  • 1篇传感器与微系...
  • 1篇飞控与探测

年份

  • 9篇2024
  • 8篇2023
  • 10篇2022
  • 14篇2021
  • 9篇2020
  • 4篇2019
  • 3篇2017
  • 3篇2016
  • 1篇2015
  • 2篇2012
  • 2篇2011
共 65 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种三明治加速度计微结构制作方法
本发明公开了一种三明治加速度计微结构制作方法，涉及MEMS芯片制造领域，包括以下内容：上、下电极圆片采用硅衬底上薄层玻璃的晶片，首先上下电极圆片在玻璃面进行通孔光刻，再生长铬金薄膜，光刻腐蚀制造出上下电极极板，结构采用单...
刘国文刘宇邱飞燕刘福民杨静李兆涵赵亭杰吴浩越徐宇新
文献传递
一种具有应力释放的双质量MEMS陀螺敏感结构
本发明涉及一种具有应力释放的双质量MEMS陀螺敏感结构，采用四周支撑结构支撑整个可动结构，并在四周支撑结构上下两侧中心和左右两侧中心放置应力释放梁和应力释放梁固定锚区。应力释放梁弯曲刚度远小于四周支撑结构的框架刚度，可显...
刘福民张乐民刘国文徐杰徐宇新王学锋
一种晶片键合过程中对准检测方法
本发明公开了一种晶片键合过程中对准检测方法，包括：在上晶片非键合面制作上晶片辅助对准标记和上晶片主对准标记；在下晶片键合面制作下晶片辅助对准标记和下晶片主对准标记；利用主对准标记进行上下晶片的对准后上下晶片错开，露出下晶...
刘福民刘宇张乐民刘国文马骁崔尉梁德春张树伟吴浩越杨静李兆涵徐宇新
一种基于音叉驱动效应的高精度水平轴硅微陀螺仪
本发明公开了一种基于音叉驱动效应的高精度水平轴硅微陀螺仪，包括：包括盖帽层、陀螺仪敏感结构和衬底层；其中，盖帽层和衬底层相连接组成内部真空结构，陀螺仪敏感结构设置于内部真空结构；陀螺敏感结构包括第一驱动梳齿组、第二驱动梳...
刘国文高乃坤徐杰张乐民王健鹏刘福民
文献传递
一种带屏蔽的MEMS器件电极引出结构
本发明涉及一种带屏蔽的MEMS器件电极引出结构，属于微机电系统制造技术领域。包括电极引线、电极屏蔽线、电极焊盘、衬底、屏蔽连接线、屏蔽线焊盘、衬底层键合锚区、梳齿层键合锚区和梳齿结构，在衬底上有金属层，在金属层上加工出多...
张乐民刘福民刘国文徐杰徐宇新王学锋
一种具有应变自抵消的抗过载MEMS可动结构
本发明公开了一种具有应变自抵消的抗过载MEMS可动结构，包括：第一可动质量块、第二可动质量块、第一结构单元、第二结构单元、第三结构单元、第四结构单元、第一抗过载固定锚区、第二抗过载固定锚区、第一抗过载应变梁、第二抗过载应...
张乐民刘福民刘国文徐杰刘宇张树伟杨静崔尉
一种宽频带MEMS加速度计及其制备方法
本发明涉及一种宽频带MEMS加速度计及其制备方法，该方法包括如下步骤：从系统函数波特图得出宽频加速度计需要的带宽对应的谐振频率和Q值，通过梁结构控制谐振频率，在圆片级封装键合阶段控制腔内气体压力来控制Q值。结构的加工是在...
刘国文刘宇李兆涵赵亭杰马智康张天祺刘福民
一种微机械静电驱动的弧形梳齿结构
一种微机械静电驱动的弧形梳齿结构，涉及微机械静电驱动技术领域；包括n组相同的弧形梳齿组；n组弧形梳齿组均匀分布在外部圆弧形器件的外沿；每组弧形梳齿组包括静梳齿和动梳齿；静梳齿和动梳齿为交错配合的F型锤状结构；在外部静电的...
庄海涵杨静刘福民刘国文
文献传递
一种三明治式平动式闭环硅微加速度计
一种三明治式平动式闭环硅微加速度计，包括上固定电极(6)、可动硅电极、下固定电极(7)。可动硅电极的可动部分包括：8个A杆(2)、8个B杆(4)、4个C梁(3)和敏感质量块(5)。2个A杆(2)、2个B杆(4)与1个C梁...
万蔡辛刘国文董景新杨立溪
文献传递
一种MEMS加速度计的多级抗过载封装结构及方法
本发明涉及一种MEMS加速度计的多级抗过载封装结构及方法，该加速度计包括封装管壳、封装盖板、被封装MEMS加速度计芯片、被封装ASIC芯片、外止档、侧面应力缓冲层、上表面应力缓冲层；所述被封装MEMS加速度计芯片固定在封...
刘国文高乃坤刘宇刘福民马智康徐杰王学锋
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