陈素君
- 作品数：11 被引量：10H指数：2
- 供职机构：北京北仪创新真空技术有限责任公司更多>>
- 相关领域：一般工业技术电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 镀膜设备真空系统主泵的配置被引量：1
- 2010年
- 真空系统是真空镀膜设备的主要组成部分,其主泵的选择对真空性能影响很大,真空镀膜设备的发展要求真空性能清洁无油,动态抽速大.传统的以油扩散泵为主泵的设备不能满足要求,本文叙述了油扩散泵、分子泵及低温泵的特点及北京北仪创新真空技术有限责任公司开发以分子泵及低温泵为真空系统主泵的镀膜设备情况.
- 陈素君杨静
- 关键词：真空镀膜设备真空系统主泵油扩散泵分子泵低温泵
- 真空镀膜设备真空系统主泵的配置
- 真空系统是真空镀膜设备的主要组成部分,其主泵的选择对真空性能影响很大,真空镀膜设备的发展要求真空性能清洁无油,动态抽速大.传统的以油扩散泵为主泵的设备不能满足要求,本文叙述了油扩散泵、分子泵及低温泵的特点及北京北仪创新真...
- 陈素君杨静
- 关键词：真空镀膜设备油扩散泵分子泵低温泵真空系统
- 文献传递
- 真空蒸发镀膜设备性能的改进被引量：1
- 2008年
- 为提高镀膜设备的效率及可靠性,以适应技术发展需要,对真空镀膜设备的设计制造(重点是箱式前开门型设备)方面,对镀膜室的布局,基片装载量及真空系统的配置和电气控制等方面进行了适当的改进,提高挡次。并尽可能留有增加可选配功能部件的装配位置,如光学膜厚测量控制装置和石英晶体膜厚测量控制仪,低能宽束离子源,氩离子射频轰击装置等改进膜层质量,扩大功能适应各种使用要求。
- 陈素君陈月增
- 关键词：真空性能装载量自动控制
- 真空镀膜设备抽气系统的性能要求及主泵的选择
- 本文叙述真空镀膜设备抽气系统的性能要求。指出传统用油扩散泵作主泵的真空镀膜设备,由于不可避免存在着油蒸气返流,影响所镀制薄膜的质量,只有用无油泵,如分子泵、低温泵取代油扩散泵才能消除。以分子泵作主泵的真空镀膜设备已普及。...
- 陈素君
- 文献传递
- 用于制备ZnO薄膜的金属有机化学气相沉积设备的研制
- 2010年
- 介绍了一种制备ZnO薄膜的金属有机化学气相沉积(MOCVD)设备,制备的ZnO薄膜主要用作太阳能电池的背反射电极。该设备的极限压力可达5×10-5 Pa,膜厚均匀性偏差在5%以内,薄膜电阻率约为10-2Ω.cm。本文叙述了设备的用途,技术性能,工作过程和结构特点。并对ZnO薄膜的电阻率与参加反应的水蒸汽流量的关系进行了简单介绍。
- 安其王红雪陈素君
- 关键词：薄膜太阳电池电阻率
- 真空镀膜设备真空系统主泵的配置
- 真空系统是真空镀膜设备的主要组成部分,其主泵的选择对真空性能影响很大,真空镀膜设备的发展要求真空性能清洁无油,动态抽速大.传统的以油扩散泵为主泵的设备不能满足要求,本文叙述了油扩散泵、分子泵及低温泵的特点及北京北仪创新真...
- 陈素君杨静
- 关键词：真空镀膜设备真空系统主泵油扩散泵分子泵低温泵
- 文献传递
- 真空技术在射线源注油中的应用
- 2008年
- 本设备可对注油机的储油箱、拉模箱、溢油箱提供真空环境并对射线源抽真空和注油,注油过程中对各储油室中的绝缘油进行真空脱气、脱水,以确保注油前的性能指标,使油品达到军标、国标、国际标准。使真空技术在射线源注油技术中得到了很好的应用。通过理论计算合理配置真空系统,通过不断的探索和实践在真空系统中加装了氟里昂挡油装置,氟里昂挡油装置的设置从根本上解决了液体绝缘油在进行真空脱气、脱水过程中的一系列难题。
- 陈月增赵益萍郝刚陈素君王鸿吉
- 关键词：真空注油
- 真空蒸发镀膜设备的改进
- 真空蒸发镀膜设备是制作光学薄膜的主要手段。随着光学薄膜的发展,传统的真空蒸发镀膜设备性能渐趋不能满足要求,为此,北京北仪创新真空技术有限责任公司对真空镀膜设备的设计(重奌是箱式前开门型设备)镀膜室的布局及真空系统的配置进...
- 陈素君陈月增
- 关键词：光学薄膜真空系统
- 文献传递
- 镀制红外截止滤光片薄膜的真空镀膜机性能要求
- 红外截止滤光片是一种精密光学薄膜元件，是具有在可見光区域高透过率，近红外区域截止反射的光学滤光片。主要用在可拍照手机、电脑内置摄像头、汽卓摄像头、数码摄像机、安防监视机、可视电话等成像系统中用CCD或CM0S图像传感器的...
- 陈素君
- 关键词：折射率
- 复合分子泵转子离心变形与热变形的有限元分析被引量：3
- 2011年
- 本文利用有限元分析软件ANSYS12.0对复合分子泵转子的离心变形与热变形进行了分析。通过施加惯性载荷和温度载荷,得到转子的离心变形与热变形。对不同载荷下分析结果的比较,了解了惯性载荷与温度载荷对分子泵转子变形影响大小。通过分析结果可直观了解分子泵在高速运转过程中转子变形情况,对分子泵设计时工作间隙的选取有重要的参考意义。
- 郁晋军张军安刘敏强陈素君
- 关键词：分子泵热变形
