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邰晶
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北京七星华创电子股份有限公司
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相关领域:
文化科学
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合作作者
王峰
北京七星华创电子股份有限公司
周峰
北京七星华创电子股份有限公司
刘晨曦
北京七星华创电子股份有限公司
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2017
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一种控制晶舟升降运动的原点定位方法
一种控制晶舟升降运动的原点定位方法,包括:控制晶舟以一设定的速度参数向下运动,当原点传感器探测到舟升降机构刚遮挡原点传感器时,立即控制晶舟减速停止;然后,控制晶舟以一较慢的速度参数启动晶舟向上运动,当检测到原点脉冲上升沿...
邰晶
周峰
王峰
刘晨曦
一种控制晶舟升降运动的原点定位方法
一种控制晶舟升降运动的原点定位方法,包括:控制晶舟以一设定的速度参数向下运动,当原点传感器探测到舟升降机构刚遮挡原点传感器时,立即控制晶舟减速停止;然后,控制晶舟以一较慢的速度参数启动晶舟向上运动,当检测到原点脉冲上升沿...
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