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王志强

作品数：3 被引量：0H指数：0
供职机构：北京京东方光电科技有限公司更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇中文专利

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 3篇基板
  • 2篇真空
  • 2篇气压
  • 2篇气压平衡
  • 2篇传送
  • 1篇气密
  • 1篇腔体
  • 1篇刻蚀
  • 1篇刻蚀设备
  • 1篇板架

机构

  • 3篇北京京东方光...

作者

  • 3篇肖红玺
  • 3篇王志强
  • 1篇吴平

年份

  • 1篇2014
  • 1篇2013
  • 1篇2012
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
一种传送基板的系统及方法
本发明公开了一种传送基板的系统及方法，用以解决现有技术中传送基板的系统严重的浪费了气体资源的问题。该系统预真空进样腔内的气体通过气压平衡管路流入真空传送腔中，当预真空进样腔内的第一气压值与真空传送腔内的第二气压值的差值的...
刘华锋王志强肖红玺
文献传递
基板承接腔及刻蚀设备
本实用新型公开了一种基板承接腔及刻蚀设备，涉及干法刻蚀设备，为了解决了采用干刻设备刻蚀基板时，干刻设备成本较高，操作步骤繁琐的问题。该基板承接腔与传送腔气密性连接，包括密闭的腔体及位于腔体内的具有多个基板的基板架，腔体上...
谢海征肖红玺吴平刘华锋董宜萍王志强蒋会刚
文献传递
一种传送基板的系统及方法
本发明公开了一种传送基板的系统及方法，用以解决现有技术中传送基板的系统严重的浪费了气体资源的问题。该系统预真空进样腔内的气体通过气压平衡管路流入真空传送腔中，当预真空进样腔内的第一气压值与真空传送腔内的第二气压值的差值的...
刘华锋王志强肖红玺
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