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文献类型

  • 5篇中文专利

主题

  • 2篇信号
  • 2篇压力传感器
  • 2篇载物台
  • 2篇支撑杆
  • 2篇体气
  • 2篇力传感器
  • 2篇控制器
  • 2篇感器
  • 2篇报警
  • 2篇报警装置
  • 2篇撑杆
  • 2篇传感
  • 2篇传感器
  • 1篇等离子体
  • 1篇等离子增强化...
  • 1篇镀膜
  • 1篇液晶
  • 1篇液晶显示
  • 1篇液晶显示器
  • 1篇液体介质

机构

  • 5篇北京京东方光...

作者

  • 5篇罗阳
  • 2篇周贺
  • 2篇刘东
  • 2篇贺雄
  • 1篇孟健
  • 1篇刘强

年份

  • 1篇2015
  • 4篇2013
5 条 记 录,以下是 1-5
排序方式:
一种承载物检测系统
本发明公开了一种承载物检测系统,用以实现一种能够检测真空环境中的承载物完整性的系统。所述系统包括:第一载物台、第二载物台、多个压力检测装置、控制器和报警装置;所述第二载物台位于所述第一载物台上方;每个压力检测装置包括固定...
艾青南周贺刘东罗阳
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清洁装置
本实用新型提供了一种清洁装置,涉及液晶显示器的生产设备技术领域,解决了使用现有的清洁装置会导致对镀膜腔体的清洁成本增加的问题。本实用新型实施例提供了一种清洁装置,用于清洁至少一个镀膜腔体,包括一进气管,一输气管,一等离子...
罗阳贺雄韩乔楠孟健
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一种承载物检测系统
本发明公开了一种承载物检测系统,用以实现一种能够检测真空环境中的承载物完整性的系统。所述系统包括:第一载物台、第二载物台、多个压力检测装置、控制器和报警装置;所述第二载物台位于所述第一载物台上方;每个压力检测装置包括固定...
艾青南周贺刘东罗阳
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等离子体气相沉积装置用背板及等离子体气相沉积装置
本实用新型公开了一种等离子体气相沉积装置用背板及等离子体气相沉积装置,涉及化学气相沉积领域,以解决现有技术中等离子体气相沉积装置背板造成的气体扩散均匀性无法得到保证,从而影响成膜均匀性的问题。为了克服上述问题,本实用新型...
韩乔楠罗阳贺雄
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一种用于废气处理装置中的管道
本实用新型公开了一种用于废气处理装置中的管道,涉及废气处理技术领域,为了解决废气流经的管道容易被固体异物阻塞的问题。该用于废气处理装置中的管道,所述管道为双壁管,该双壁管从外向里依次为外壁和内壁,由内壁和外壁形成夹层,由...
艾青南韩乔楠罗阳刘强
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共1页<1>
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