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苏艳波

作品数：13 被引量：0H指数：0
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司更多>>

合作作者

文献类型

  • 13篇中文专利

主题

  • 4篇瓶体
  • 4篇气体
  • 4篇分配网
  • 4篇分配网络
  • 4篇吹扫
  • 3篇导轨
  • 3篇室温条件
  • 3篇流体
  • 3篇螺钉
  • 3篇螺柱
  • 3篇接口
  • 3篇接口连接
  • 3篇固定螺钉
  • 3篇硅片
  • 3篇硅片表面
  • 3篇薄膜沉积技术
  • 2篇液位
  • 2篇液位传感器
  • 2篇天平
  • 2篇内压

机构

  • 13篇北京七星华创...

作者

  • 13篇苏艳波
  • 11篇兰云峰
  • 6篇任鑫
  • 4篇赵星梅
  • 3篇龙睿芬
  • 3篇李一吾

年份

  • 5篇2016
  • 1篇2015
  • 5篇2014
  • 2篇2013
共 13 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种用于反应源瓶的取放装置
本实用新型公开了一种用于反应源瓶的取放装置，所述取放装置包括两枚调整螺柱和调整支撑板，调整螺柱与调整支撑板螺纹连接，通过调节调整螺柱的螺纹位置控制调整支撑板的升降；还包括导向轴套、导向轴、导向轴固定螺钉，导向轴套套装在导...
兰云峰龙睿芬李一吾苏艳波
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一种应用于薄膜沉积技术的气体分配器
本发明公开了一种应用于薄膜沉积技术的气体分配器，在本体内设有由二组分别平行设置的若干气体分配管之间按水平交错方向相互连通形成的气体分配网络，各气体分配管之间从网络中心向外侧方向横截面积依次对称缩小，并在各气体分配管的下方...
苏艳波克雷格·伯考赵星梅
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一种应用于薄膜沉积技术的气体分配器
本发明公开了一种应用于薄膜沉积技术的气体分配器，在本体内设有辐射状的气体分配主管，在气体分配主管两侧错位设置气体分配支管，并沿气体分配主管向气体分配支管方向管路横截面积逐渐减小，形成树状的气体分配网络，使从气体分配网络中...
苏艳波赵星梅克雷格·伯考兰云峰
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一种应用于原子层沉积设备的源瓶
本发明公开了一种应用于原子层沉积设备的源瓶，在插入至瓶体近底部的进气管底端，连通若干支水平设置的带有若干气孔的鼓泡管，各鼓泡管为末端封闭的等长、等径空心管，并以进气管底端为中心等角度分布，气孔孔间距与孔径具有一定对应关系...
苏艳波兰云峰任鑫
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一种用于反应源瓶的取放装置
本发明公开了一种用于反应源瓶的取放装置，包括：两枚调整螺柱和调整支撑板，调整螺柱与调整支撑板螺纹连接，通过调节调整螺柱的螺纹位置控制调整支撑板的升降；还包括导向轴套、导向轴、导向轴固定螺钉，导向轴套套装在导向轴上，导向轴...
兰云峰龙睿芬李一吾苏艳波
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一种用于反应源瓶的试验装置及试验方法
本发明公开了一种用于反应源瓶的试验装置及试验方法，包括源瓶瓶体，安装在瓶体的瓶盖上的进气管、出气管、热偶，其特征在于，还包括一个天平，所述瓶体放置在天平上；所述进气管一端伸入到瓶体中，另一端连接供气装置；所述出气管一端连...
苏艳波兰云峰任鑫
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一种应用于原子层沉积设备的源瓶
本发明公开了一种应用于原子层沉积设备的源瓶，在插入至瓶体近底部的进气管底端，连通若干支水平设置的带有若干气孔的鼓泡管，各鼓泡管为末端封闭的等长、等径空心管，并以进气管底端为中心等角度分布，气孔孔间距与孔径具有一定对应关系...
苏艳波兰云峰任鑫
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可调角度的焊机辅助设备
本实用新型提供一种可调角度的焊机辅助设备，包括：可在滑轨上移动的基座，所述基座上设有可上下运动的滑动固定块，所述滑动固定块上设有用于夹持第一钢管的固定块夹持压板以及用于夹持第二钢管的调节块夹持压板；所述滑动固定块上还设有...
兰云峰任鑫苏艳波
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一种应用于薄膜沉积技术的气体分配器
本发明公开了一种应用于薄膜沉积技术的气体分配器，在本体内设有由二组分别平行设置的若干气体分配管之间按水平交错方向相互连通形成的气体分配网络，各气体分配管之间从网络中心向外侧方向横截面积依次对称缩小，并在各气体分配管的下方...
苏艳波克雷格·伯考赵星梅
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一种用于反应源瓶的取放装置
本发明公开了一种用于反应源瓶的取放装置，包括：两枚调整螺柱和调整支撑板，调整螺柱与调整支撑板螺纹连接，通过调节调整螺柱的螺纹位置控制调整支撑板的升降；还包括导向轴套、导向轴、导向轴固定螺钉，导向轴套套装在导向轴上，导向轴...
兰云峰龙睿芬李一吾苏艳波
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