邹江波 作品数:13 被引量:34 H指数:3 供职机构: 航天长征火箭技术有限公司 更多>> 发文基金: 中国人民解放军总装备部预研基金 更多>> 相关领域: 自动化与计算机技术 航空宇航科学技术 电子电信 更多>>
石英谐振式压力传感器设计与制造 本文设计了一款全石英三明治结构谐振式压力传感器,由感压膜片、谐振梁和背腔盖板三部分通过玻璃浆料键合而成.设计了带有振动衰减结构和应力均衡结构的双端固支音叉式谐振梁,减小能量损耗,提高品质因数;通过有限元模态分析方法,获得... 韩东祥 王建 赵聪 金小锋 张世名 邹江波关键词:压力传感器 微机电系统 石英微机械陀螺研究 石英微机械陀螺具有体积小、质量轻、功耗小、启动快、成本低、可靠性高、耐恶劣环境、易于实现数字化和智能化等优点,在近年来,受到了广泛关注和研究.本文介绍了一种音叉式石英微机械陀螺的设计,通过石英各项异性腐蚀工艺予以实现,并... 邹江波 张志宇 滕纲 陈巍关键词:微机械 陀螺 石英 文献传递 基于4H-SiC的LC谐振式高温无线压力敏感芯片的设计与优化 2017年 针对航空发动机、重型燃气轮机等动力设备燃烧室内压力原位测量的需求,设计了一种基于4H-SiC的LC谐振式无线高温压力敏感芯片.以现有SiC微工艺水平为基础,利用TCAD软件及多物理场耦合仿真软件,完成了敏感芯片电容、电感、感压膜等主要部件的结构设计、优化,以提高敏感芯片的Q值及耦合强度.探讨了电感内置、外置两种设计方案本体电容的大小,并在此基础上提出一种双腔体结构,将本体电容值减小到179.66 p F.优化后的敏感芯片常温(20℃)Q值约为13.66,100 k Pa满量谐振频率变化158.62 k Hz;1 000℃下的Q值为3.65,满量变化55.53 k Hz,且1 000℃下的热应力较小.这种敏感芯片将可应用于高温压力传感器的制备,为我国自主研制航空发动机、高超发动机、重型燃气轮机等先进动力系统提供支撑. 何文涛 李艳华 邹江波 张世名 赵和平 杨龙关键词:4H-SIC LC谐振 高温压力传感器的研究现状与发展趋势 被引量:24 2016年 高温压力传感器广泛应用于火箭发动机、航空发动机、重型燃气轮机、燃煤燃气锅炉等动力设备燃烧室内的压力监测。经过二十多年的研究,高温压力传感技术领域成果丰富。以敏感芯片的主体材料分类,对高温压力传感器的研究现状进行论述,重点分析基于SOI、SiC、蓝宝石、共烧陶瓷、压电晶体、SiCN陶瓷等材料的高温压力传感器的特点与局限以及国内外发展现状。最后展望高温压力传感器的发展趋势,并对国内高温压力传感器的发展方向提出建议。 何文涛 李艳华 邹江波 张世名 赵和平 金小锋 杨龙关键词:高温 压力传感器 闭环石英音叉陀螺的设计 本文在分析了开环石英音叉陀螺缺点的基础上,提出了一种闭环模式工作的石英音叉陀螺,通过PID校正环节的调节作用,改善陀螺的动态特性,并有效地抑制正交耦合振动,仿真分析表明:闭环结构,可以达到在不牺牲信噪比的条件下,提高带宽... 孙延东 金小锋 邹江波关键词:MEMS 石英音叉陀螺 PID调节 反馈控制 文献传递 一种新型固支结构石英音叉陀螺的设计 石英音叉陀螺的固支结构对陀螺器件的性能影响很大。提出一种新型固支结构的石英音叉陀螺,把固支结构的支撑梁设计在元件拾取运动零位移线处,目的在于提高陀螺对外界振动和温度变化的抗干扰能力,从而改善零位稳定性。运用ANSYS软件... 张瀚 金小锋 邹江波关键词:石英音叉陀螺 支撑梁 ANSYS软件 文献传递 4H-SiC MEMS高温电容式压力敏感元件设计 被引量:5 2015年 为了研制Si C高温电容式MEMS压力敏感元件以满足高温环境下压力参数测量,设计了一种基于P型4H-Si C减薄抛光工艺制备高温变间隙电容式压力传感器敏感元件结构方法;通过数值仿真,研究了敏感元件的性能,得到敏感元件输出电容随压力、温度的变化曲线;通过微机械加工工艺制备出了Si C电容式高温压力传感器敏感元件,研制出Si C电容式高温压力传感器原理样机,通过模拟高温压力传感器样机工作环境,搭建了高温微压测试平台并对原理样机进行性能测试;结果显示,样机在873.15 K下能够正常工作,灵敏度为18.7 f F/k Pa,非线性为12.60%,迟滞为0.47%,能够满足解调电路拾取压力信号. 曹正威 尹玉刚 许姣 张世名 邹江波关键词:4H-SIC MEMS 高温压力传感器 MHD角振动传感器宽带特性设计研究 在轨飞行器总体单位已经提出宽带(2~1000Hz)、微小(小于0.1)角振动传感器的需求,磁流体动力学角振动传感器(MHD-AVS)是满足这种测试要求的最主要传感器类型.本文通过对传感器流体状态、结构谐振特性、内部电感线... 张瀚 刘海涛 廉杰 金小锋 邹江波关键词:航天飞行器 宽带特性 系统设计 一种新型固支结构石英音叉陀螺的设计 被引量:2 2009年 石英音叉陀螺的固支结构对陀螺器件的性能影响很大。提出一种新型固支结构的石英音叉陀螺,把固支结构的支撑梁设计在元件拾取运动零位移线处,目的在于提高陀螺对外界振动和温度变化的抗干扰能力,从而改善零位稳定性。运用ANSYS软件对新结构做仿真验证,结果表明新结构在元件灵敏度、抗振动等重要性能上都有一定提高。新结构同时能缩短元件制造流程,更易工程实现。 张瀚 金小锋 邹江波关键词:石英音叉陀螺 ANSYS 石英音叉陀螺数字电路的算法设计研究 2009年 设计了一种石英音叉陀螺的数字化算法,该算法在稀疏采样的条件下实现了两大功能:驱动环路的锁相和频率跟踪;拾取电路的解调滤波和信号处理。稀疏采样的优势在于降低了后期的硬件电路设计要求,提高了算法的可实现性。该算法通过了Simulink仿真,并在硬件电路上验证了其可行性。 陶晋 金小锋 邹江波关键词:石英音叉陀螺 仿真