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王同东

作品数：1 被引量：4H指数：1
供职机构：西安交通大学机械工程学院机械制造系统工程国家重点实验室更多>>
发文基金：中央高校基本科研业务费专项资金陕西省科学技术研究发展计划项目国家重大科学仪器设备开发专项更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇黏度
  • 1篇微悬臂
  • 1篇微悬臂梁
  • 1篇谐振
  • 1篇谐振式
  • 1篇梁结构
  • 1篇MEMS

机构

  • 1篇西安交通大学
  • 1篇新疆交通职业...

作者

  • 1篇赵玉龙
  • 1篇赵立波
  • 1篇蒋庄德
  • 1篇王同东
  • 1篇胡英杰

传媒

  • 1篇仪表技术与传...

年份

  • 1篇2015
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
微悬臂梁结构的谐振式MEMS黏度传感器被引量：4
2015年
文中研究了谐振方法测量流体黏度的测量机理,采用MEMS工艺设计并加工了微悬臂梁结构的流体黏度传感器芯片,芯片作为振动体采用电磁激励和压阻检测的方法进行粘度测量。设计了封装结构并搭建了实验系统,在室温环境20℃和25℃2个温度点下进行了4种有机流体的黏度测量。实验结果表明,微悬臂梁结构的谐振式MEMS黏度传感器具有响应速度快、微型化程度高、易于实现在线流体测量等特点,黏度的测量精度优于8%,较好地满足了流体黏度的工程测量需求。
热合曼.艾比布力胡英杰王同东赵立波赵玉龙蒋庄德
关键词：MEMS黏度微悬臂梁谐振
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