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陈惠敏
作品数:
1
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供职机构:
南通大学
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
化学工程
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合作作者
吴知非
中国纺织大学
陈英方
中国纺织大学
施芸城
中国纺织大学
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传媒
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纺织基础科学...
年份
1篇
1992
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等离子体源离子注入表面改性
1992年
研究了等离子体源离子注入对聚酰亚胺薄膜电性能的改变。处理后该薄膜面电阻率下降6个数量级。由X光电子能谱及全反射衰减红外谱分析,注入时聚酰亚胺表面分子链上的C=0、C—H、C—N、C=C等化学键被离子部分地打断而形成富碳层,并有无定形碳存在,是面电阻率下降的主要原因。
吴知非
施芸城
陈英方
陈惠敏
李群林
关键词:
等离子体源
离子注入
表面改性
聚酰亚胺
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