钱晓峰
- 作品数：4 被引量：8H指数：2
- 供职机构：北京工业大学激光工程研究院更多>>
- 发文基金：北京市自然科学基金国家自然科学基金北京市教委重点项目更多>>
- 相关领域：电子电信生物学理学机械工程更多>>
- 用于准分子激光刻蚀的变焦距物镜的设计研究
- 变焦距系统是一种焦距可以连续变化而像面保持稳定且在变焦过程中像质可以保持良好的光学系统。它的历史可追溯到最早于1902年出现的放映物镜。目前的变焦距系统都是利用改变透镜组之间的间隔来改变这个物镜的焦距。根据其变焦补偿方式...
- 钱晓峰
- 关键词：变焦距物镜高斯光学准分子激光刻蚀
- 文献传递
- 准分子激光刻蚀可变焦光路设计研究
- 2007年
- 为了研究在准分子激光刻蚀聚合物的过程中避免经常往复更换不同大小而形状相同的掩模的实验操作,保证实验的连续性和结果的真实性和可靠性,在实验的加工系统中基于变焦距系统的原理采用引入一个变焦物镜代替原来系统中普通物镜的方法,取得了一个准分子激光刻蚀可变焦光路系统.采用ZEMAX软件设计一个可变焦物镜镜头并分析了它的成像质量.经过ZEMAX软件的模拟,结果表明,此变焦镜头成像质量基本达到要求,缩小倍率在0.15～0.24范围内可连续变化.因此,使用这个变焦物镜,在同样的实验条件下,可以采用同一片掩模而不再往复更换掩模就可蚀刻出大小不同的结构;同时由于不再经常需要中断实验过程,保证了实验结果的真实性.该技术在激光蚀刻中有很大的可行性.
- 钱晓峰陈涛祁恒
- 关键词：光线追迹准分子激光
- 利用光波导进行准分子激光打孔的加工系统研究被引量：2
- 2006年
- 分析了现有准分子激光打孔系统的优缺点,研究了对经过光波导的光束进行掩模打孔的一套加工系统。对光波导的制作进行了分析,并进行了一系列实验,文中给出了试验结果和分析。
- 郭商勇陈涛刘世炳钱晓峰张帅
- 关键词：掩模
- 准分子激光加工PMMA生物芯片片基的实验研究被引量：6
- 2006年
- 用准分子激光对高聚物材料进行微加工制作,可以得到比较理想的高聚物基生物芯片。采用248nm的KrF准分子激光器对PMMA(聚甲基丙烯酸甲酯)进行微细加工,探讨了准分子激光与PMMA相互作用的机理。进行了表面微通道制作和打孔实验,研究激光加工的工艺参数及加工质量的变化规律。结果表明,准分子激光蚀刻完全适合生物芯片的制作,而且加工过程简单,是一种行之有效的制作方法。
- 钱晓峰陈涛郭商勇
- 关键词：生物芯片准分子激光蚀刻微加工
