王依
- 作品数：38 被引量：8H指数：2
- 供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家科技重大专项更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程自动化与计算机技术理学更多>>
- 一种EUV反射镜清洗装置
- 本发明公开了一种EUV反射镜清洗装置，其包括H<Sup>0</Sup>原子发生装置（1）和真空腔室（2），在所述H<Sup>0</Sup>原子发生装置（1）和所述真空腔室（2）之间依次设置有相互连通的球阀（3）和导向喷射...
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- EUV光源放电电极的液态金属高效冷却方法与装置
- EUV光源放电电极的液态金属高效冷却方法与装置，属于高温发热装置冷却领域，为解决现有技术存在的整套水冷装置较大，会对EUV光源造成损害的问题，将EUV光源的放电电极安装在散热基底上，包层管道安装在散热基底内，包层管道采取...
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- 具有降低光学元件热变形和高传输效率的碎屑抑制系统
- 具有降低光学元件热变形和高传输效率的碎屑抑制系统，属于半导体技术领域，为了降低次镜的热变形，并提高EUV的传输效率，碎屑阻挡罩内部具有冷却液循环运动的通道，碎屑阻挡罩沿碎屑偏转器的轴向安装在碎屑偏转器靠近光源点的位置；碎...
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- 一种流量稳定的EUV碳污染实验气体供气装置
- 本发明涉及一种流量稳定的EUV碳污染实验气体供气装置，包括污染气体储存罐、外加热层、温度控制器、气体压力传感器、流量计、污染气体发射管和发射管运动装置等，外加热层设置在污染气体储存罐的外壁，与温度控制器连接的气体压力传感...
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- 用于清洗受污染光学元件的氢原子收集装置与清洗方法
- 本发明提供一种用于清洗受污染光学元件的氢原子收集装置，属于清洗光学元件表面污染的技术领域。解决现有的氢原子收集方法收集率低的问题。该装置包括：氢原子发生器、石英椭球镜收集腔、加热带和样品夹，所述的氢原子发生器与石英椭球镜...
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- 文献传递
- EUV多层膜碳污染实验装置
- 本发明涉及一种EUV多层膜碳污染实验装置，属于半导体技术领域。解决了现有技术中EUV多层膜碳污染实验装置只能检测单一实验结果，且实验的可靠性和对比性低的技术问题。本发明的EUV多层膜碳污染实验装置包括聚焦腔、第一闸板阀、...
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- 一种用于碳污染实验获取EUV辐射的真空隔离滤光装置
- 一种用于碳污染实验获取EUV辐射的真空隔离滤光装置，属于半导体技术领域。解决了现有技术中碳污染实验装置的滤光片易破裂，并且破裂后污染聚焦镜和光源的问题。本发明的装置主要包括过渡真空腔、实验真空腔、真空阀、角阀、第一质谱仪...
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- 文献传递
- 自由电子激光光束线反射镜无应力夹持设计与分析被引量：2
- 2020年
- 反射镜是自由电子激光光束线中的重要光学元件,反射镜自重引起的面形误差会严重影响光束线的成像质量。为减小自重引起的面形误差,基于Bessel点理论提出了重力补偿方案,并设计了无应力夹持装置,利用有限元软件对该装置进行仿真分析。以尺寸为440 mm×50 mm×50 mm的反射镜为例进行分析,传统支撑方式下反射镜下表面面形误差为1.647μrad,采用本文提出的夹持方案后面形误差降至0.0857μrad,优于工程指标0.1μrad。为防止反射镜在工作模式切换时发生窜动,可对反射镜添加不超过2 N的微小夹持力,此时反射镜的面形误差为0.0939μrad。此外,还对装置进行了动力学分析,结果显示:该设计方案可有效防止装置存在较低的固有频率,在使用过程中不会产生共振现象,满足光束线的使用需求。
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- 关键词：面形误差
- 一种低温激光干涉测量光学系统的热噪声抑制系统
- 本发明涉及低温激光干涉测量光学系统的热噪声抑制方法及系统，第一质量流量计输出的反应气体和第二质量流量计输出的稀有气体在标准工作气体装置内充分混合后得到标准工作气体，标准工作气体装置将标准工作气体通入射频等离子体发生器；射...
- 王依
- 文献传递
- 用于清洗受污染光学元件的氢原子收集装置与清洗方法
- 本发明提供一种用于清洗受污染光学元件的氢原子收集装置，属于清洗光学元件表面污染的技术领域。解决现有的氢原子收集方法收集率低的问题。该装置包括：氢原子发生器、石英椭球镜收集腔、加热带和样品夹，所述的氢原子发生器与石英椭球镜...
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- 文献传递
