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刘兆武

作品数：111 被引量：59H指数：4
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金吉林省科技发展计划基金国家重大科学仪器设备开发专项更多>>
相关领域：机械工程理学电子电信自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 103篇专利
  • 8篇期刊文章

领域

  • 35篇机械工程
  • 25篇理学
  • 16篇电子电信
  • 6篇自动化与计算...
  • 4篇文化科学
  • 1篇矿业工程
  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 62篇光栅
  • 41篇衍射
  • 39篇激光
  • 32篇读数头
  • 29篇光栅位移
  • 26篇偏振
  • 23篇双频激光
  • 22篇偏振光
  • 20篇激光器
  • 19篇信号
  • 19篇衍射光栅
  • 19篇光学
  • 18篇信号处理
  • 18篇信号处理系统
  • 16篇线偏振
  • 16篇线偏振光
  • 16篇测量系统
  • 15篇光栅衍射
  • 14篇双频激光器
  • 14篇长行程

机构

  • 111篇中国科学院长...
  • 6篇中国科学院大...
  • 1篇长春理工大学
  • 1篇吉林大学
  • 1篇北京航空航天...
  • 1篇北京理工大学

作者

  • 111篇刘兆武
  • 98篇李文昊
  • 81篇王玮
  • 49篇巴音贺希格
  • 35篇吕强
  • 34篇姜珊
  • 32篇于宏柱
  • 31篇吉日嘎兰图
  • 30篇宋莹
  • 20篇李晓天
  • 20篇姚雪峰
  • 16篇唐玉国
  • 14篇齐向东
  • 12篇于海利
  • 7篇糜小涛
  • 6篇杨超
  • 6篇张桐
  • 2篇谭鑫
  • 2篇张博
  • 2篇白志红

传媒

  • 4篇中国光学
  • 1篇光学精密工程
  • 1篇中国激光
  • 1篇光学学报
  • 1篇计测技术

年份

  • 10篇2024
  • 18篇2023
  • 13篇2022
  • 13篇2021
  • 16篇2020
  • 9篇2019
  • 15篇2018
  • 10篇2017
  • 1篇2016
  • 5篇2015
  • 1篇2014
共 111 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
双层浮动读数头的光栅位移测量装置、方法、介质及设备
本发明涉及光栅测量领域，具体涉及一种双层浮动读数头的光栅位移测量装置、方法、介质及设备。在基板工作面的两个第一侧边上设置第一测量光栅组，以及对称设置在第一基准线两侧且靠近所述通光件设置的第二测量光栅组，在同侧设置的第一测...
李文昊周文渊刘兆武姜珊王玮孙宇佳刘林梁旭金思宇
一种具有阿贝误差校正功能的光栅刻刀主动调整装置
本发明涉及光栅刻划技术领域，具体公开一种具有阿贝误差校正功能的光栅刻刀主动调整装置。本发明包括刀架升降机构、刀架支撑架、微定位工作台、工作台安装座、柔性铰链、压电陶瓷、拉簧、小刀架、金刚石刻刀；压电陶瓷与微定位工作台通过...
李晓天于海利唐玉国刘兆武杨超齐向东
文献传递
光栅位移测量方法
本发明提供一种光栅位移测量方法，包括：S1、通过光源发出线偏振光，经准直后出射到光学结构上；S2、通过光学结构将线偏振光垂直入射到测量光栅的表面，并将衍射后产生携带测量信息的±1级衍射光入射至两组分束结构；S3、通过两组...
李文昊刘兆武于宏柱王玮吉日嘎兰图姚雪峰
文献传递
一种消像差平面衍射光栅的机械刻划方法
本发明公开一种消像差平面衍射光栅的机械刻划方法，包括：采用所述激光干涉计对刻划刀架的固有位置误差进行测量；采用衍射波前测量仪对所述光栅基底的面形误差进行测量；根据步骤一测量得到的刻划刀架固有位置误差和步骤二得到的光栅基底...
李晓天于海利唐玉国刘兆武杨超齐向东
文献传递
长行程、高精度测量的光栅位移测量方法
本发明公开了一种长行程、高精度测量的光栅位移测量方法，包括如下步骤：双频激光器发出正交偏振的双频激光被分束棱镜和90°折转镜分为两束光，并分别入射到两偏振分光棱镜被两偏振分光棱镜分束为P光及S光；所述P光及S光经过四个四...
李文昊吕强巴音贺希格宋莹刘兆武王玮
基于扫描曝光技术的光栅基底面形误差补偿方法、装置
本发明涉及光栅研制技术领域，具体涉及基于扫描曝光技术的光栅基底面形误差补偿方法、装置，具体地，本申请采用基于扫描干涉场曝光系统干涉条纹相位调制的光栅基底面形误差补偿技术，解决了在全息光栅研制领域基底面形加工误差使光栅衍射...
巴音贺希格姜珊李昱伯刘兆武王玮李文昊李烁姜岩秀
轴承内外径测量装置及其测量方法
本发明涉及轴承测量技术领域，提供一种轴承内外径测量装置及其测量方法，用于解决在装夹时存在偏心误差，精度不高，拟合计算直径时存在拟合误差的问题。本发明利用V型块的定位特性，无需对轴承进行回转，避免了装调时偏心等因素带来的仪...
于硕王玮李文昊姚雪峰张桐刘兆武白雪龙
一种光栅刻线弯曲自动控制校正方法
一种光栅刻线弯曲自动控制校正方法，涉及光栅刻划技术领域，解决现有光栅刻线弯曲校正技术需要采用机械设计方法对光栅刻划机机械结构进行多次反复的改进设计和安装调试，存在设计过程复杂、效率低且刻线弯曲校正效果较差等问题，本发明包...
李晓天于海利唐玉国杨超刘兆武齐向东
文献传递
一种利特罗光栅干涉测量装置及其使用方法
本发明涉及光栅干涉测量技术领域，具体提供一种利特罗光栅干涉测量装置及其使用方法，装置包括：双频正交偏振光源、偏振分光棱镜、反射组件、探测器，以及参数相同的第一衍射光栅和第二衍射光栅；第一衍射光栅和第二衍射光栅相对设置在偏...
李文昊周文渊刘兆武孙宇佳刘林
一种基于利特罗衍射的光栅位移测量装置及方法
本申请属于超精密位移测量技术领域，具体提供一种基于利特罗衍射的光栅位移测量装置及方法，该装置包括：光源系统、光学系统、光栅、光电接收模块及信号处理系统，光栅为平面反射式的闪耀光栅，光源系统发出正交的第一和第二线偏振光；光...
孙宇佳李文昊刘林刘兆武于宏柱金思宇姜珊王玮姜岩秀
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