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蒋万顺
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2
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昆明冶研新材料股份有限公司
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合作作者
沈宗喜
昆明冶研新材料股份有限公司
周祖萍
昆明冶研新材料股份有限公司
章华
昆明冶研新材料股份有限公司
宋良杰
昆明冶研新材料股份有限公司
宋东明
昆明冶研新材料股份有限公司
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沈宗喜
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1篇
2015
1篇
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改良西门子法生产多晶硅的废气淋洗处理工艺及设备
本发明一种废气淋洗处理工艺及装置,特别涉及采用改良西门子法生产多晶硅的废气淋洗处理工艺及装置,用以处理多种氯硅烷或氯化氢有害气体。属生产多晶硅产生的废弃物处理领域。该发明是在实验的基础上对多晶硅生产所产生废弃物进行的淋洗...
宋东明
宋良杰
方琼
蒋万顺
李才勇
周祖萍
沈宗喜
丁丙恒
章华
邓亮
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改良西门子法生产多晶硅的废气淋洗处理工艺及设备
本发明一种废气淋洗处理工艺及装置,特别涉及采用改良西门子法生产多晶硅的废气淋洗处理工艺及装置,用以处理多种氯硅烷或氯化氢有害气体。属生产多晶硅产生的废弃物处理领域。该发明是在实验的基础上对多晶硅生产所产生废弃物进行的淋洗...
宋东明
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