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张贺

作品数：5 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院半导体研究所更多>>

合作作者

文献类型

  • 5篇中文专利

主题

  • 3篇柔性衬底
  • 3篇刻蚀
  • 3篇衬底
  • 2篇氧化硅薄膜
  • 2篇硬质
  • 2篇粘附
  • 2篇粘结
  • 2篇绒毛
  • 2篇绒毛状
  • 2篇微针
  • 2篇离子刻蚀
  • 2篇硅薄膜
  • 2篇二氧化硅薄膜
  • 2篇改性
  • 2篇表面改性
  • 1篇旋涂
  • 1篇粘结强度
  • 1篇针尖
  • 1篇直接键合
  • 1篇湿法刻蚀

机构

  • 5篇中国科学院

作者

  • 5篇裴为华
  • 5篇陈弘达
  • 5篇张贺
  • 4篇陈远方
  • 2篇王宇
  • 2篇国冬梅
  • 1篇郭旭宏

年份

  • 3篇2016
  • 1篇2015
  • 1篇2014
共 5 条 记 录，以下是 1-5
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排序方式：
可用于动态心电测量的柔性心电电极及制作方法
本发明提供了一种可消除皮肤电干扰的可用于动态心电测量的柔性心电电极。该电极主要由柔性衬底(1)、硬质微针阵列(2)、导电层(3)和绝缘层(4)构成。所述微针阵列采用PDMS与硅直接键合结合划片以及湿法刻蚀而成。柔性衬底可...
裴为华张贺郭旭宏陈弘达
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在柔性衬底表面制作硬质微针阵列的方法
一种在柔性衬底表面制作硬质微针阵列的方法，包括：在一硅片上生长一层第一Parylene薄膜后旋涂一层柔性聚合物层，加热固化；将其揭下；在与第一Parylene薄膜接触的那一面的柔性聚合物层上生长一层第二Parylene薄...
裴为华张贺王宇陈远方陈弘达
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增强聚对二甲苯薄膜与金属层粘附性的方法
一种增强聚对二甲苯薄膜与金属层粘附性的方法，包括如下步骤：步骤1：取一待沉积的衬底；步骤2：在衬底上生长聚对二甲苯薄膜；步骤3：采用氧反应离子刻蚀工艺，将聚对二甲苯薄膜的表面制备成绒毛状纳米结构；步骤4：在制备成绒毛状纳...
裴为华国冬梅陈远方张贺陈弘达
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在柔性衬底表面制作硬质微针阵列的方法
一种在柔性衬底表面制作硬质微针阵列的方法，包括：在一硅片上生长一层第一Parylene薄膜后旋涂一层柔性聚合物层，加热固化；将其揭下；在与第一Parylene薄膜接触的那一面的柔性聚合物层上生长一层第二Parylene薄...
裴为华张贺王宇陈远方陈弘达
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增强聚对二甲苯薄膜与金属层粘附性的方法
一种增强聚对二甲苯薄膜与金属层粘附性的方法，包括如下步骤：步骤1：取一待沉积的衬底；步骤2：在衬底上生长聚对二甲苯薄膜；步骤3：采用氧反应离子刻蚀工艺，将聚对二甲苯薄膜的表面制备成绒毛状纳米结构；步骤4：在制备成绒毛状纳...
裴为华国冬梅陈远方张贺陈弘达
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