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张合静
作品数:
2
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供职机构:
华星光电技术有限公司
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相关领域:
电子电信
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合作作者
石龙强
华星光电技术有限公司
吕晓文
华星光电技术有限公司
王宜凡
华星光电技术有限公司
曾志远
华星光电技术有限公司
李文辉
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华星光电技术...
作者
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曾志远
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张合静
传媒
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2014中国...
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高性能氧化物半导体器件开发
本论文研究了不同膜质钝化保护层对IGZO电性的影响,并研究了器件的均一性与稳定性.实验结果表明,具有低速高质的钝化保护层器件具有良好的电性:Vth为-0.26V,载流子迁移率为8.6cm2/(V.s),S.S为0.56V...
李文辉
苏智昱
张合静
吕晓文
石龙强
胡宇彤
曾志远
王宜凡
关键词:
薄膜晶体管
电学性能
文献传递
铟镓锌氧化物半导体器件开发
本论文探讨了不同铟镓锌氧化物半导体(IGZO)界面对氧化物半导体电特性的影响,并对其中界面较好有好的电特性的器件进行了信赖性测试.结果表明以SiOx-2为栅绝缘层(GI),IGZO沉积功率为6KW,600A制成的半导体层...
吕晓文
苏智昱
李文辉
石龙强
张合静
曾志远
王宜凡
关键词:
电学性能
栅绝缘层
文献传递
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