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周晓茹

作品数：3 被引量：0H指数：0
供职机构：浙江大学更多>>
相关领域：理学化学工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇化学工程
  • 1篇理学

主题

  • 3篇氮化
  • 3篇氮化硅
  • 3篇超细
  • 2篇载体填料
  • 2篇填料
  • 2篇晶体
  • 2篇硅晶
  • 2篇硅晶体
  • 2篇床层
  • 2篇纯度
  • 1篇细粉
  • 1篇流态床
  • 1篇硅烷
  • 1篇法制
  • 1篇粉体
  • 1篇CVD
  • 1篇超细粉
  • 1篇超细粉体

机构

  • 3篇浙江大学

作者

  • 3篇周晓茹
  • 2篇姚奎鸿
  • 2篇沃银花
  • 2篇林玉瓶
  • 2篇余京松
  • 2篇张焕林

年份

  • 1篇2001
  • 1篇1999
  • 1篇1996
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
一种制造高纯度超细氮化硅的方法及设备
一种制造高纯度超细氮化硅的方法及设备，其特征是硅烷和氨气的气相化学反应是在立式双温区流态反应器3中进行，该反应器流态床底部设有不锈钢制造的分配板31，载体填料32是粒度为0.1～0.5mm的硅晶体，床层外部设有主加热器3...
姚奎鸿周晓茹张焕林林玉瓶余京松沃银花
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硅烷流态床CVD法制氮化硅超细粉体
周晓茹
一种制造高纯度超细氮化硅的方法及设备
一种制造高纯度超细氮化硅的方法及设备,其特征是硅烷和氨气的气相化学反应是在立式双温区流态反应器3中进行,该反应器流态床底部设有不锈钢制造的分配板31,载体填料32是粒度为0.1～0.5mm的硅晶体,床层外部设有主加热器3...
姚奎鸿周晓茹张焕林林玉瓶余京松沃银花
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