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刘士杰

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：南京理工大学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文专利

主题

  • 1篇电器件
  • 1篇阳极
  • 1篇微型泵
  • 1篇冷阴极
  • 1篇离子泵
  • 1篇溅射离子泵
  • 1篇光电
  • 1篇光电器件

机构

  • 1篇南京理工大学

作者

  • 1篇刘玉凤
  • 1篇刘士杰
  • 1篇周旭辉

年份

  • 1篇1994
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
微型冷阴极溅射离子泵
本实用新型公开了一种微型冷阴极溅射离子泵，其特征是它采用了多个阳极子筒并联在一个大阳极筒内的新型阳极结构，使阳极构成巢状具有多个单元泵的抽真空和排气功能。该微型泵解决了现有技术中抽速小、结构不紧凑不合理的缺点，并有效地改...
周旭辉于广陵刘士杰刘玉凤
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