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何建国
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湖南省机械研究所
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刘天相
湖南省机械研究所
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刘天相
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何建国
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1篇
1986
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用工业纯原料气进行等离子化学气相沉积的涂层方法与设备
本发明属于金属表面处理中制备金属化合物涂层的方法和设备。;工业纯原料气PCVD涂层方法与设备,采用专门设计制造的包括原料气处理系统、金属卤化物或其它液体汽化的装置以及离子轰击炉等几部分组成的等离子化学气相沉积设备,使用工...
刘天相
于锡裘
何建国
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