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文献类型

  • 4篇中文专利

主题

  • 2篇单晶
  • 2篇单晶硅
  • 2篇选择性刻蚀
  • 2篇刻蚀
  • 2篇刻蚀工艺
  • 2篇硅膜
  • 2篇干法刻蚀
  • 2篇干法刻蚀工艺
  • 2篇
  • 1篇单晶硅片
  • 1篇电致发光
  • 1篇太阳模拟
  • 1篇太阳模拟器
  • 1篇太阳能
  • 1篇太阳能接收器
  • 1篇自然因素
  • 1篇联合发电
  • 1篇滤光片
  • 1篇晶体
  • 1篇晶体质量

机构

  • 4篇中国科学院上...

作者

  • 4篇陈小源
  • 4篇杨康
  • 4篇王旭洪
  • 3篇鲁林峰
  • 2篇杨辉
  • 2篇方小红
  • 2篇刘东方
  • 2篇张伟
  • 2篇李明
  • 2篇付苓
  • 2篇李中丽
  • 2篇王聪
  • 2篇李东栋
  • 1篇汪昌州
  • 1篇陈海燕
  • 1篇金波

年份

  • 2篇2016
  • 2篇2014
4 条 记 录,以下是 1-4
排序方式:
一种基于层转移的晶硅薄膜的制备方法
本发明提供一种基于层转移的晶硅薄膜的制备方法,包括:1)于单晶硅衬底表面形成用于制作周期性棒阵列的掩膜,采用化学湿法刻蚀或干法刻蚀工艺于单晶硅衬底上形成周期性的硅棒阵列;2)于单晶硅衬底表面及硅棒阵列表面形成阻挡层;3)...
刘东方张伟陈小源杨辉王聪鲁林峰李东栋方小红李明杨康王旭洪
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多能源发电装置
本发明提供一种多能源发电装置,为一种将太阳能、风能和热空气能进行综合利用的多能源发电技术,其中,太阳能发电子系统包括反射镜镜场与安装在塔顶的太阳能接收器,风力发电子系统包括风轮和发电机,热能发电子系统包括设在承载塔内部的...
陈小源鲁林峰杨康陈海燕汪昌州金波付苓王旭洪李中丽
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太阳模拟器光源及其实现方法
本发明提供一种太阳模拟器光源及其实现方法,至少包括基板、第一发光组件及滤光片,其中,所述第一发光组件包括第一种LED芯片、第一种封装体及填充在所述第一种封装体内的与所述第一种LED芯片相对应的荧光粉。本发明以LED芯片电...
陈小源王旭洪杨康李中丽付苓
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一种基于层转移的晶硅薄膜的制备方法
本发明提供一种基于层转移的晶硅薄膜的制备方法,包括:1)于单晶硅衬底表面形成用于制作周期性棒阵列的掩膜,采用化学湿法刻蚀或干法刻蚀工艺于单晶硅衬底上形成周期性的硅棒阵列;2)于单晶硅衬底表面及硅棒阵列表面形成阻挡层;3)...
刘东方张伟陈小源杨辉王聪鲁林峰李东栋方小红李明杨康王旭洪
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共1页<1>
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