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阮刚
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43
被引量:90
H指数:5
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复旦大学
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复旦大学信息科学与工程学院电子...
牛国富
复旦大学微电子学研究所
肖夏
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宋任儒
复旦大学信息科学与工程学院电子...
梁擎擎
复旦大学信息科学与工程学院电子...
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1990
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1989
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ANSYS在VLSI互连模拟中的应用
被引量:2
2000年
介绍了ANSYS程序在VLSI互连几何最佳化设计中的初步应用。应用表明:ANSYS的模拟精度高,图形显示功能强。应用ANSYS自动寻优功能使RC延迟最佳化几何参数的寻找较为迅速和直观。
阮刚
梁庆龙
ReinhardStreiter
宋任儒
ThomasOtto
ThomasGessner
关键词:
集成电路
VLSI
共振隧穿二极管电流密度-电压曲线数值计算中积分方法的改进
被引量:1
1999年
提出了一种基于黄金分割法和二分法寻查思想的一维积分来实现二维积分的方法,此方法能迅速而精确地计算RTD电流密度-电压曲线适用于RTD及其电路的计算机辅助设计。
梁擎擎
阮刚
张斌
关键词:
共振隧穿二极管
电流密度
硅片Map图信息的提取和利用
1995年
分析了硅片Map图所提供的生产成品率和各类不合格芯片的位置分布信息,讨论了利用硅片之间Overlap法(重叠法)和硅片上Window法(窗口法)对Map图进行的统计。着重讨论了:按硅片中不合格芯片密度的显著差异划分边缘区及中心区;不合格芯片局部聚集现象的定量表示;随机性强的不合格芯片的统计分布;有关信息由相应C语言软件自动提取,与Map图计算机测试进行联用,可用于生产监控、影响成品率因素分析和工艺缺陷的深入研究。
张东红
阮刚
关键词:
硅片
MAP图
成品率
集成电路工艺模拟软件SSUPREM4的校验
被引量:4
1999年
本文对知名的集成电路工艺模拟软件SSUPREM4进行了较仔细的校验,用SSUPREM4模拟了氧化、扩散工艺,并同实验值进行了比较,模拟值和实验值的偏差在10%以内,与集成电路器件模拟软件SPISCES联用校验了SSUPREM4的全工序模拟结果,校验结果有较大参考价值.
阮刚
庞海舟
冒慧敏
关键词:
集成电路
AlGaAs/InGaAs/GaAs异质结构中扩散噪声和扩散系数的蒙特卡罗研究
1996年
本文用蒙特卡罗法研究了AlGaAs/InGaAs/GaAs异质结构中二维电子气的扩散噪声和扩散系数.同AlGaAs/GaAs异质结构的情况一样,平行速度相关函数呈现振荡,但不同的是振幅随电子密度变化很小.另外,振幅在InGaAs层厚度增加时下降.用单个电子的相关函数和一组电子的位移方差两种不同方法计算了扩散系数.
吴渊
牛国富
阮刚
关键词:
ALGAAS
INGAAS
砷化镓
ULSI互连中纳米多孔SiO_2的制造工艺、特性及应用前景
被引量:6
2002年
综述了 ULSI互连中纳米多孔二氧化硅 (NPS)电介质主要品种干燥凝胶 (Xerogel)的典型制造工艺 ,给出并分析了介电常数、应力、热导率和机械强度等主要特性 。
阮刚
陈智涛
肖夏
朱兆旻
段晓明
关键词:
ULSI
低介电常数介质
短沟道MOSFET渡越时间物理模型
1995年
叙述了一个考虑包括速度过冲等短沟道效应的MOSFET渡越时间解析模型,计算结果与二维数值模拟符合较好。基于该模型,探讨了在线性工作区和饱和工作区渡越时间对栅偏压依赖关系的不同,并作了物理解释。模型还表明由速度过冲带来渡越时间的缩短对沟道长度大于0.25μm的MOSFET不超过10%
牛国富
阮刚
关键词:
渡越时间
速度过冲
MOSFET
沟道
物理模型
为SIMOX SOI结构的硅膜和二氧化硅埋层厚度模型
被引量:3
1993年
本文提出了一个为SIMOX SOI结构的硅膜和二氧化硅埋层厚度解析模型,适用于0.7—2.0 ×10^(18)cm^(-2)剂量范围和50—300keV能量范围,模型与实验测量在大剂量和低能量情况下仍附合较好。本模型对SIMOX工艺优化设计和发展VLSI TCAD具有参考价值,同时给出了在常规氧注入能量(如150keV)下用增大剂量方法制备TF SOI结构的理论依据。
牛国富
阮刚
关键词:
硅膜
二氧化硅
SOI结构
埋层
SIMOX
适用于大电流的SiGe基区HBT的电流和频率特性的解析模型
被引量:3
1996年
本文提出了一个适用于大电流的SiGe基区双极型晶体管(SiGe-HBT)的电流和频率特性的解析模型.本模型考虑了速度饱和效应,对n+pnn+双极型晶体管,当电流超过发生Kirk效应的临界电流时,本模型考虑了集电结附近由窄到宽的禁带变化对集电极电流和特征频率fT的影响.解析模型的计算结果同数值模拟结果一致,证明了解析模型是可信和精确的.本模型可用于器件设计和电路模拟.
钱晓州
阮刚
关键词:
双极型晶体管
电流特性
频率特性
大电流
低介电常数(lowk)介质在ULSI中的应用前景
被引量:25
2000年
本文讨论了ULSI的发展对低介电常数 (low k)介质的需求 ,介绍了几种有实用价值的low k介质的研究和发展现况 ,最后评述了low
阮刚
肖夏
朱兆
关键词:
低介电常数材料
无机介质
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