您的位置： 专家智库 > >

卢乾波

作品数：23 被引量：0H指数：0
供职机构：浙江大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信文化科学理学机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 22篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 3篇电子电信
  • 2篇文化科学
  • 1篇机械工程
  • 1篇理学

主题

  • 14篇加速度
  • 14篇加速度计
  • 11篇加速度测量
  • 7篇微机械
  • 7篇波长
  • 6篇微加工
  • 6篇微加工工艺
  • 6篇合成波长
  • 6篇波长差
  • 5篇微加速度计
  • 5篇量程
  • 5篇大量程
  • 4篇窄带
  • 4篇微位移测量
  • 4篇超窄带
  • 3篇带宽
  • 3篇单轴
  • 3篇镀膜
  • 3篇信号
  • 3篇信号处理

机构

  • 23篇浙江大学

作者

  • 23篇白剑
  • 23篇卢乾波
  • 13篇焦旭芬
  • 12篇汪凯巍
  • 9篇韩丹丹
  • 6篇陈佩文
  • 2篇叶辉

传媒

  • 1篇光电工程

年份

  • 2篇2023
  • 1篇2019
  • 5篇2018
  • 6篇2017
  • 5篇2016
  • 3篇2015
  • 1篇2014
共 23 条 记 录，以下是 1-10
全选 清除 导出
排序方式：
一种基于双波长干涉的加速度测量系统
本实用新型公开了一种基于双波长干涉的加速度测量系统。所述系统主要由两个波长差为Δλ的激光器、一个偏振分光棱镜、两个分光棱镜、四个四分之一波片、一个平面反射镜、两个偏振片、一个超窄带滤波片、四个高灵敏度光电探测器、一个表面...
潘德馨卢乾波白剑汪凯巍
文献传递
光学MEMS加速度计中三光路信号补偿系统及其方法
本发明公开了一种光学MEMS加速度计中三光路信号补偿系统及其方法，包括三光路补偿光路和后续信号处理系统；其中三光路补偿光路包含光隔离器、微型分光棱镜、平面反射镜、可调衰减器、光电探测器；补偿信号处理系统包含三个模数转换A...
卢乾波娄树旗焦旭芬白剑
文献传递
光学MEMS加速度计中三光路信号补偿系统及其方法
本发明公开了一种光学MEMS加速度计中三光路信号补偿系统及其方法，包括三光路补偿光路和后续信号处理系统；其中三光路补偿光路包含光隔离器、微型分光棱镜、平面反射镜、可调衰减器、光电探测器；补偿信号处理系统包含三个模数转换A...
卢乾波娄树旗焦旭芬白剑
文献传递
一种抗大冲击的高精度微光机电系统加速度计
本实用新型公开了一种抗大冲击的高精度微光机电系统加速度计。主要由封装外壳和布置在封装外壳中的微机械加速度敏感单元和光学微位移测量单元组成，微机械加速度敏感单元位于光学微位移测量单元正下方；微机械加速度敏感单元从上到下依次...
卢乾波白剑汪凯巍焦旭芬韩丹丹陈佩文
文献传递
基于双波长干涉的大量程高精度加速度测量系统与测量方法
本发明公开了一种基于双波长干涉的大量程高精度加速度测量系统与测量方法。所述系统主要由两个波长差为Δλ的激光器、一个偏振分光棱镜、两个分光棱镜、四个四分之一波片、一个平面反射镜、两个偏振片、一个超窄带滤波片、四个高灵敏度光...
卢乾波白剑汪凯巍潘德馨
高精度单轴光学微加速度计中抑制串扰的微机械加速度敏感结构及其制造方法
本发明公开了一种高精度单轴光学微加速度计中抑制串扰的微机械加速度敏感结构及其制造方法，所述微机械加速度敏感结构包括一个体硅敏感质量块，四个对称分布的蟹脚型悬臂梁，连接悬臂梁的硅基底以及镀在敏感质量块表面的反射膜；敏感质量...
卢乾波白剑娄树旗焦旭芬韩丹丹
文献传递
一种光学MEMS加速度计中三光路信号补偿系统
本实用新型公开了一种光学MEMS加速度计中三光路信号补偿系统，包括三光路补偿光路和后续信号处理系统；其中三光路补偿光路包含光隔离器、微型分光棱镜、平面反射镜、可调衰减器、光电探测器；补偿信号处理系统包含三个模数转换AD转...
卢乾波娄树旗焦旭芬白剑
文献传递
一种低温磁控溅射制备低电阻率氮化钛薄膜的方法
本发明公开了一种低温磁控溅射制备低电阻率氮化钛薄膜的方法。采用单面抛光的基片作为衬底，选用超高真空磁控溅射设备，将基片放置于加热台面上；盖上真空腔盖，抽取本底真空，通入氮气和氩气，进行磁控溅射；溅射后停止通入氮气和氩气，...
卢乾波叶辉白剑陈超楠
文献传递
超高加速度位移灵敏度的敏感结构、加速度计及制造方法
本发明公开了一种超高加速度位移灵敏度的敏感结构、加速度计及制造方法。微机械敏感结构包括敏感质量块、镀在敏感质量块上的高反膜、相连在敏感质量块上的蛇形梁型悬臂梁以及与蛇形梁型悬臂梁末端相连的硅基底，微机械敏感结构下部与带凹...
卢乾波白剑汪凯巍焦旭芬韩丹丹陈佩文
文献传递
抗大冲击的高精度微光机电系统加速度计
本发明公开了一种抗大冲击的高精度微光机电系统加速度计。主要由封装外壳和布置在封装外壳中的微机械加速度敏感单元和光学微位移测量单元组成，微机械加速度敏感单元位于光学微位移测量单元正下方；微机械加速度敏感单元从上到下依次为光...
卢乾波白剑汪凯巍焦旭芬韩丹丹陈佩文
全选 清除 导出
共3页<123>
聚类工具0