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王国英
作品数:
2
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供职机构:
北京大学深圳研究生院
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相关领域:
电子电信
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合作作者
张盛东
北京大学深圳研究生院
宋振
北京大学深圳研究生院
邓伟
北京大学深圳研究生院
贺鑫
北京大学深圳研究生院
邵阳
北京大学深圳研究生院
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薄膜晶体管
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钝化层
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有源
1篇
源区
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栅电极
1篇
接触电极
1篇
介质层
机构
2篇
北京大学
作者
2篇
肖祥
2篇
邵阳
2篇
贺鑫
2篇
王国英
2篇
邓伟
2篇
宋振
2篇
张盛东
年份
1篇
2019
1篇
2014
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一种背沟道刻蚀型薄膜晶体管及其制备方法
本发明涉及一种背沟道刻蚀型薄膜晶体管及其制备方法,其特征在于:采用本发明的制备方法制备的背沟道刻蚀型薄膜晶体管包括衬底、栅电极、栅介质层、有源区、源区、漏区、钝化层、源区接触电极和漏区接触电极;栅电极设置在衬底上,栅介质...
张盛东
肖祥
邵阳
邓伟
王国英
宋振
贺鑫
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一种背沟道刻蚀型薄膜晶体管及其制备方法
本发明涉及一种背沟道刻蚀型薄膜晶体管及其制备方法,其特征在于:采用本发明的制备方法制备的背沟道刻蚀型薄膜晶体管包括衬底、栅电极、栅介质层、有源区、源区、漏区、钝化层、源区接触电极和漏区接触电极;栅电极设置在衬底上,栅介质...
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