张巧云
- 作品数：14 被引量：12H指数：3
- 供职机构：中国电子科技集团第二十六研究所更多>>
- 发文基金：中国人民解放军总装备部预研基金更多>>
- 相关领域：航空宇航科学技术自动化与计算机技术更多>>
- 石英微机械陀螺仪敏感芯片化学刻蚀加工方法
- 本发明涉及一种石英微机械陀螺仪敏感芯片化学刻蚀加工方法，它是将光刻后的石英晶体放入腐蚀液中，在60℃-95℃温度条件下对石英晶体进行化学刻蚀，刻蚀时间为10-20小时；腐蚀液由水、氢氟酸和氟化铵混合而成，水、氢氟酸和氟化...
- 张巧云林日乐翁邦英周倩谢佳维
- 文献传递
- 石英MEMS陀螺
- 石英微机电系统(MEMS)陀螺是一种微型惯性器件。介绍了石英MEMS陀螺的工作原理及敏感芯片的几种典型结构形式,石英MEMS陀螺敏感芯片一般采用一体式音叉结构,有多种结构形式,不同的芯片结构形式性能指标和体积不同,可应用...
- 林日乐满欣周倩李文蕴谢佳维张巧云
- 关键词：石英陀螺音叉
- 文献传递
- 速率陀螺仪减振结构
- 本实用新型公开了一种速率陀螺仪减振结构，包括上方敞口的外壳体、顶罩、以及内壳体，所述内壳体为矩形体结构，所述外壳体的内腔为能够容纳内壳体的矩形腔体，在内壳体的顶部与底部分别套设有一橡胶减震罩，该内壳体和橡胶减震罩通过顶罩...
- 余鲲朱振忠雷义明芶志平 查安虎刘奎张巧云
- 文献传递
- 火箭弹MEMS陀螺捷联惯导系统被引量：4
- 2012年
- 火箭弹正朝着远程化、精确制导化方向发展,制导装置是其中的核心。该文采用微机电系统(MEMS)陀螺、石英挠性加速度计、高动态GPS接收机、高速导航计算机等硬件及捷联惯性导航和卡尔曼滤波算法,研制了小型捷联惯性/GPS组合导航系统。该组合导航系统具有体积小,精度高,成本低等特点,试验表明该惯导系统可以满足增程火箭弹制导要求。
- 李星海陈述奇蔡体菁张巧云胡旭伯刘姝
- 关键词：捷联惯导系统卡尔曼滤波火箭弹
- 高性能石英MEMS陀螺
- 林日乐谢佳维江黎满欣李文蕴蒋昭兴翁邦英赵建华苏永川林丙涛董宏奎王清亮文路张巧云朱振忠
- 高性能石英MEMS陀螺是振动惯性技术和石英MEMS技术相融合的产品。项目着重开展了敏感芯片设计、石英MEMS工艺、高精度陀螺电路设计等技术研究，突破了高精度陀螺敏感芯片结构设计、一体式掩膜电极成型MEMS工艺、集成式敏感...
- 关键词：
- 关键词：陀螺
- 半球陀螺敏感单元充放电效应防护设计与分析被引量：1
- 2018年
- 半球陀螺作为卫星姿态控制系统的核心部件,在空间应用领域受到辐射环境的影响,其充放电效应是威胁卫星安全的重要因素之一。该文介绍了半球陀螺敏感单元空间、充放电效应的影响,分析了敏感单元的材料基底,提出了充、放电效应防护设计、敏感单元外壳屏蔽层厚度设计与分析等措施,减小了敏感表头充放电效应的影响。分析与试验结果表明了该设计的可行性和实用性。
- 杨勇简福斌简福斌方针方海斌周强方针张乐
- 石英微机械惯性传感器的研究
- 石英微机械惯性传感器包括陀螺和加速度计,由于其自身特点,使其在军民市场具有广阔的应用前景,引起了国内外学者的广泛关注。本文主要介绍本所研究的微机械陀螺的结构、基本原理、加工工艺及最新的研究进展。
- 张巧云林日乐谢佳维张挺翁邦英王瑞赵建华郑永祥吕志清
- 关键词：石英微机械陀螺加速度计
- 文献传递
- 一种石英敏感芯片
- 一种石英敏感芯片，包括本体，在该本体上设置有开槽，该开槽的末端具有拐角结构，其特征在于，所述拐角结构和本体表面之间形成有一台阶，该台阶和本体表面之间的壁面为圆弧面，台阶和圆弧面通过腐蚀加工而成。圆弧面能均衡结构中的应力分...
- 林日乐李文蕴张巧云翁邦英周倩
- 文献传递
- 振动陀螺的新进展
- 振动陀螺是一种固态陀螺,从第一个振动陀螺问世至今虽只有40多年的历史,但它现在已成为陀螺家族中重要的一员。振动陀螺有三个基本的组成部分:振子、激励电极和检测电极。振子的结构形式多种多样,包括音叉、振梁、振弦、振动膜片、振...
- 吕志清张巧云
- 关键词：振动陀螺半球谐振陀螺
- 文献传递
- 萤火一号火星探测器MEMS陀螺姿态确定技术
- 2013年
- 对萤火一号(YH-1)火星探测器姿态控制分系统中石英微电磁系统(MEMS)陀螺的应用进行了研究。对MEMS陀螺进行了温漂标定试验和年漂测试专项试验。根据试验结果对MEMS陀螺进行建模,用高低温零位在轨标定算法对MEMS陀螺零位进行一次修正,再用星敏感器和陀螺联合定姿算法对高低温零位标定残差进行二次在轨修正。数学仿真结果表明:高低温在轨修正算法和卡尔曼滤波算法有效,提高了石英MEMS陀螺的测量精度。
- 袁彦红尹海宁范蕾懿张巧云
- 关键词：卡尔曼滤波
