2024年7月17日
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罗辑
作品数:
3
被引量:1
H指数:1
供职机构:
北京航空航天大学
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发文基金:
国家自然科学基金
国家科技重大专项
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相关领域:
理学
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合作作者
许亿
北京航空航天大学机械工程及自动...
李刘合
北京航空航天大学机械工程及自动...
刘红涛
北京航空航天大学机械工程及自动...
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作者
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李刘合
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罗辑
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带状真空电弧磁过滤器等离子体分布特性及制备类金刚石膜研究
被引量:1
2016年
采用大尺寸矩形石墨靶作为真空阴极电弧源,研制了带状真空电弧磁过滤器.使用法拉第杯和朗缪尔探针对90?弯曲磁过滤器中的带状等离子体出口所在平面的15个区域的离子能量和密度进行了测试;用该带状真空电弧磁过滤器制备了类金刚石膜(diamond-like carbon,DLC);对相应位置上的类金刚石膜进行了Raman分析和膜厚测量.结果表明:磁过滤器出口所在平面的15个划分区域中离子能量分布接近麦克斯韦分布,离子能量分布与类金刚石膜的结构具有明显的对应特征,离子密度分布与DLC膜膜厚分布相互之间具有相关性.
李刘合
刘红涛
罗辑
许亿
关键词:
离子能量
离子密度
类金刚石膜
拉曼光谱
一种电子增强等离子体放电管内壁涂层的方法
一种电子增强等离子体放电管内壁涂层的方法,它有六大步骤:一、待处理管内壁涂层前清洁处理:二、组装一种电子增强等离子体放电管内壁涂层装置;三、完成对真空室的抽真空,通过惰性气体馈送管道通入惰性气体,再通过待处理管进入绝缘罩...
李刘合
许亿
罗辑
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一种电子增强等离子体放电管内壁涂层的方法
一种电子增强等离子体放电管内壁涂层的方法,它有六大步骤:一、待处理管内壁涂层前清洁处理:二、组装一种电子增强等离子体放电管内壁涂层装置;三、完成对真空室的抽真空,通过惰性气体馈送管道通入惰性气体,再通过待处理管进入绝缘罩...
李刘合
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