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李志杰
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2
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供职机构:
中国电子科技集团第二十六研究所
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合作作者
司美菊
中国电子科技集团第二十六研究所
唐永亮
中国电子科技集团第二十六研究所
杜波
中国电子科技集团第二十六研究所
祖小涛
中国电子科技集团第二十六研究所
江洪敏
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作者
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王露
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李志杰
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唐永亮
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司美菊
年份
2篇
2014
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一种三维纳米结构声表面波气敏传感器
本发明涉及一种三维纳米结构声表面波气敏传感器,包括压电基底,置于该压电基底表面且相互平行的输入叉指电极IDT1和输出叉指电极IDT2以及敏感区,敏感区位于输入叉指电极IDT1和输出叉指电极IDT2之间,敏感区上具有三维纳...
王露
杨靖
马晋毅
杜波
江洪敏
司美菊
王登攀
祖小涛
李志杰
唐永亮
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三维纳米结构声表面波气敏传感器
本实用新型涉及三维纳米结构声表面波气敏传感器,包括压电基底,置于该压电基底表面且相互平行的输入叉指电极IDT1和输出叉指电极IDT2以及敏感区,敏感区位于输入叉指电极IDT1和输出叉指电极IDT2之间,敏感区上具有三维纳...
王露
杨靖
马晋毅
杜波
江洪敏
司美菊
王登攀
祖小涛
李志杰
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