王宇
- 作品数：4 被引量：14H指数：2
- 供职机构：中国科学院电子学研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电气工程更多>>
- 微型折叠式三维电场传感器被引量：7
- 2016年
- 提出一种基于柔性衬底和三维组装方法的新型三维电场传感器。利用柔性衬底的折叠,构建一种互相垂直的新型三维电场传感器,研究了测量空间电场时的耦合,提出解耦算法,标定灵敏度矩阵,实现了空间电场三个方向分量的准确测量;通过一系列的温湿度实验研究了三维结构的形变,证明了三维电场传感器结构稳定可靠。实验结果表明:所研制的三维电场传感器不仅能消除耦合干扰,实现空间电场分量的准确测量,测量误差在3.61%以内;而且通过新的三维组装方法,大大减少了三维电场传感器的质量、体积,折叠工艺简化了三维传感器的组装,有利于批量化生产。
- 方奕庚彭春荣方东明王宇夏善红
- 关键词：三维电场
- 基于旋转谐振结构的单芯片二维电场传感器被引量：7
- 2016年
- 提出并研制了一种二维电场检测传感芯片,将四个电场测量微型单元和旋转式驱动微结构集成在3.5 mm×3.5 mm的敏感结构上,实现了单芯片的电场二维测量。介绍了传感器的工作原理、敏感结构的设计,以及基于绝缘体上硅(SOI)工艺的单芯片微型二维电场传感器制备工艺技术。成功研制出传感器原理样机,研究了微型二维电场传感器的标定方法,开发了用于电场二维标定的测试装置,并在室温常压下对传感器进行了二维标定。实验结果表明:该传感器能够有效减小电场的轴间耦合干扰,测量误差优于7.04%,线性度可达到1.25%。
- 王宇方东明陈博彭春荣夏善红
- 关键词：电场传感器
- 压电悬臂梁式微型电场传感器的设计与制备被引量：2
- 2015年
- 提出并研制一种新型压电悬臂梁式微型电场传感器,该传感器是基于压电(PZT)薄膜驱动的悬臂梁式微型电场传感器;同时介绍了传感器的工作原理、结构设计、制作工艺以及初步测试结果。该微型电场传感器由多根压电悬臂梁构成,每根悬臂梁能同时具有屏蔽电场和感应电荷功能。对传感器感应电荷的能力进行了计算;并根据计算结果和工艺要求设计了传感器的参数。该微型电场传感器采用微加工技术制作,每根悬臂梁为多层复合结构(Al/Si3N4/Pt/PZT/Pt/Ti/Si O2/Si),其中PZT薄膜采用溶胶-凝胶法制备。测试结果证明,传感器具有良好的响应特性。
- 冯可佟建华王宇方东明夏善红
- 关键词：电场传感器压电驱动PZT
- 密闭循环气路高场非对称波形离子迁移率谱仪
- 2016年
- 设计了一种用于高场非对称波形离子迁移率谱仪(FAIMS)的密闭循环气路结构以及膜进样装置,研究了气路结构对图谱稳定性、高场非对称波形电压与载气流量对系统检测灵敏度、半透膜预富集对系统检测限的影响。密闭循环气路结构减小了系统体积,达到了无需空气源即可检测的目的,具有预富集功能的膜进样装置可降低系统对样品的检测限。在预富集模式下,系统对化学战剂模拟剂甲基磷酸二甲酯(DMMP)的检测限约为0.05 mg/m^3,该方法为痕量化学物质的现场快速检测提供了一种可行方案。
- 王宇贾建何秀丽高晓光李建平
