朱文华
- 作品数：58 被引量：60H指数：4
- 供职机构：南京理工大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金江苏省自然科学基金江苏省普通高校研究生科研创新计划项目更多>>
- 相关领域：机械工程理学电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 用于位相缺陷检测的反射式剪切点衍射干涉仪被引量：6
- 2018年
- 为了实现光学元件位相缺陷的大视场、高分辨率、瞬态检测,设计了一种基于无镜成像算法的反射式剪切点衍射干涉仪。该干涉仪通过在参考光与测试光之间引入横向错位量,形成高密度线性载频,利用快速傅里叶变换算法从单幅干涉图中提取待测波面信息,实现缺陷的瞬态测量。利用无镜成像算法抑制了缺陷的衍射效应,总结了有效的缺陷类型辨别方法。实验检测了强激光系统中的一块光学平晶,验证了所提缺陷类型判据的正确性。此外,采用反射式剪切点衍射干涉仪对一块激光毁伤的光学平板进行检测,测试结果与Veeco NT9100白光干涉仪测量结果相比,相对误差为2.1%。结果表明,该干涉仪能够有效应用于检测大口径光学元件的位相缺陷。
- 马云陈磊刘一鸣朱文华
- 用于液晶盒表面面形检测的短相干载频干涉方法被引量：2
- 2020年
- 液晶盒表面面形的质量会影响空间光调制器的性能。为了精确测量液晶盒表面面形,提出了短相干载频干涉方法。利用短相干扩展光源进行照明,产生的参考光和测试光之间形成定域干涉,通过控制参考面和液晶盒表面之间的倾角,引入合适的载频,得到待测载频干涉条纹;同时空液晶盒空气层上下表面干涉,形成背景干扰条纹,从而在CCD相机中采集到混叠有一组干扰条纹的单幅载频干涉图。通过空间傅里叶变换方法滤除背景和干扰条纹的频率信息,提取并恢复待测条纹包含的面形数据。实验检测了两块玻璃基片错位粘合制成的液晶盒表面面形,解算出波面峰谷值PV为8.286λ,波面均方根值RMS为1.782λ。使用该方法和ZYGO干涉仪进行的对比实验中PV值和RMS值分别相差0.023λ和0.004λ,两种测量方法得到的结果一致。该方法能够克服多表面干涉的问题,实现液晶盒表面面形的精确测量。
- 杨光陈磊胡晨辉张正宇朱文华
- 关键词：液晶盒傅里叶变换面形检测
- 斜入射反射型点衍射板及其干涉测量方法
- 本发明公开了一种斜入射反射型点衍射板及其干涉测量方法。该点衍射板的基底采用折射率均匀的光学玻璃，且该光学玻璃为平行平板结构；所述基底的入射面上部镀有增透膜、下部镀有介质膜，基底的反射面上部镀有高反膜、下部镀有增透膜；所述...
- 陈磊朱文华韩志刚李金鹏郑东晖李建欣乌兰图雅
- 高精度便携式光学表面三维形貌在线检测仪
- 本发明公开了一种高精度便携式光学表面三维形貌在线检测仪，它主要由光源、单筒干涉显微镜、图像采集系统、控制源、驱动源、移相器和工控机组成。其优点是体积小、抗振性能好、可满足光学、微电子、机械等领域超精密加工元件的高精度在线...
- 陈磊郑东晖张瑜朱文华胡芬李金鹏韩志刚万骏宋乐周舒陈宇琪谷晨风郑权
- 短相干斐索动态干涉仪
- <正>动态干涉仪能够实现对光学元件面形及瞬态波前的实时检测,在天文光学、强激光、核聚变多个领域中发挥了重要作用。目前大部分动态干涉仪均采用空间分光和偏振器件移相的方案,参考光和测试光不共光路,在一定程度上降低了测量精度,...
- 孙沁园陈磊张瑞郑东晖朱文华
- 文献传递
- 一种直角棱镜光学平行差的测量装置及方法
- 本发明公开了一种直角棱镜光学平行差的测量装置及方法。该装置包括点光源、准直透镜、平面反射镜、分光膜、待测直角棱镜、成像透镜、成像镜头和CCD相机。方法为：首先将待测直角棱镜放入测量光路中，得到由待测直角棱镜前端面自准直返...
- 陈磊王冲吴志飞孔璐杨光王云涛郑东晖郑权朱文华胡晨辉张正宇陈佳崔鑫莹
- 文献传递
- 用于检测激光棒的变倾角马赫-曾德尔干涉仪被引量：2
- 2020年
- 为实现激光棒透射波前的测量,改善一般泰曼型或斐索型干涉仪测量小口径激光棒透射波前时的边缘衍射效应,研究了一种变倾角移相马赫-曾德尔干涉仪。通过调整移相反射镜的倾斜姿态,改变入射到马赫-曾德尔干涉光路的光束倾角,参考光束与测试光束的光程差随之变化,从而在相干光之间引入相移,实现了相移干涉测量。利用该干涉仪测量一根口径为Ф6 mm、长度为60 mm激光棒(Nd:YAG)的透射波前,测量结果的峰谷值(PV)为0.391λ,均方根值(RMS)为0.056λ;使用ZYGO激光干涉仪测量同一根激光棒,其透射波前的峰谷值(PV)为0.370λ,均方根值(RMS)为0.064λ。对比结果表明该干涉仪能实现光学元件透射波前的高精度检测,测试结果的一致性验证了该方案的可行性。该变倾角移相方法具有较高的移相精度和较大的移相范围,且该变倾角干涉系统中光束仅一次透过待测激光棒,可有效抑制多光束干涉现象,改善小口径激光棒的边缘衍射效应。
- 孔璐陈磊丁煜吴志飞郑东晖朱文华
- 关键词：马赫-曾德尔干涉仪激光棒
- 变倾角移相斜入射动态干涉仪被引量：4
- 2019年
- 为了快速获取不平整度达数微米量级的光学表面面形分布,提出一种基于变倾角移相的斜入射动态干涉仪方案。基于迈克耳逊干涉仪主光路系统,采用2×2点光源阵列,通过精确控制各点光源在干涉腔的入射倾角,引入等间隔移相,结合透镜阵列实现空间分光,在单个CCD上同时采集四幅移相干涉图,实现动态测量。在68°斜入射角下测量了口径35 mm硅片的平整度,均方根(RMS)值为1.631μm,峰谷(PV)值为9.082μm。实验结果表明,将变倾角同步移相技术引入斜入射干涉系统,可以克服环境震动的干扰,在保证高精度的前提下拓宽了可见光干涉仪的测量范围。
- 刘致远陈磊朱文华丁煜马云郑东晖
- 关键词：斜入射
- 一种光学平行平板玻璃的均匀性绝对测量方法
- 本发明公开了一种光学平行平板玻璃的均匀性绝对测量方法，属于光学干涉测量领域。该方法包括三个步骤：第一步、将待测光学平行平板放入测量光路，测量由光学平行平板前后表面形成的干涉腔的波面偏差；第二步、将光学平行平板放入由参考平...
- 陈磊张瑞朱文华韩志刚郑东晖孟诗孙沁园乌兰雅图
- 短相干菲索动态干涉仪关键技术研究
- <正>为了实现光学元件面形的动态干涉测量,提出了一种基于短相干光源和偏振相机的同步移相斐索型干涉测量方案。使用迈克耳孙干涉光路产生一组具有一定光程差的正交偏振光作为光源,通过调节待测面和参考面之间距离使得返回的参考光和测...
- 张瑞陈磊朱文华郑东辉孙沁园
- 文献传递
