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杨一力

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：江苏大学电气信息工程学院更多>>
发文基金：江苏省高校优势学科建设工程资助项目江苏省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇多变量
  • 1篇制程
  • 1篇滤波
  • 1篇滤波算法
  • 1篇卡尔曼
  • 1篇卡尔曼滤波
  • 1篇卡尔曼滤波算...

机构

  • 1篇江苏大学

作者

  • 1篇潘天红
  • 1篇杨一力

传媒

  • 1篇控制与决策

年份

  • 1篇2014
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
基于动态MANCOVA的混合制程虚拟测量算法
2014年
在晶圆/液晶面板等批次加工过程中,产品质量的及时估计与品质管制是提高产能和降低成本的有效途径.针对"少量多样"的混合制程,利用逐步回归算法挑选该制程的关毽变量,引入产品的效益因子,建立混合制程的虚拟测量模型;为克服系统扰动对模型精度的影响,以产品效益因子为状态量建立该制程的状态方程,利用Kalman滤波器递归估计模型参数得到动态的MANCOVA模型;最后通过某湿式蚀刻制程的工程应用验证了该算法的有效性.
潘天红杨一力
关键词：卡尔曼滤波算法
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共1页<1>
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