陈琦
- 作品数：50 被引量：98H指数：5
- 供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重大技术装备创新研制项目国家重大科学仪器设备开发专项更多>>
- 相关领域：机械工程自动化与计算机技术电子电信金属学及工艺更多>>
- 基于双频激光干涉仪大载荷纳米微动台的研制被引量：1
- 2014年
- 在超精密加工制造等领域,为了满足大质量工件的超精密进给定位应用需求,设计并研制了一种大载荷应用情况下的纳米级精密定位平台。该纳米微动承载台采用双闭式气浮导轨,由压电陶瓷致动器结合柔性铰链提供驱动,通过双频激光干涉仪实时监测终端承载台位移并实现闭环反馈控制,有效地克服了压电陶瓷致动器的非线性和迟滞效应,并消除了系统由于刚度不足而产生的不确定性干扰。在传统纯柔性铰链传动机构上增设了双气浮导轨承载台,增强了系统的载荷能力,气浮均化效应也提高了系统进给运行的直线性,双频激光干涉仪取代电容式或电阻式位移传感器的应用,从理论上扩展了行程,保证了平台进给的定位精度和长期稳定性。实验结果表明,在载荷为100 kg情况下,定位精度达±2 nm,行程大于10μm。
- 陈琦钟君
- 关键词：压电陶瓷气浮导轨激光干涉仪
- 干涉共聚焦测量系统及测量方法
- 本发明提供一种干涉共聚焦测量系统及测量方法，测量系统包括第一测量单元和第二测量单元，所述第一测量单元包括发出特定波长范围的宽光谱光源组件、第一分束镜、色散物镜、信号接收组件；所述第二测量单元包括单波长的激光光源、扩束镜、...
- 王建立糜小涛王之一杨永强明名陈宝刚张玉良陈琦
- 文献传递
- 双机器人协调的运动学分析被引量：5
- 2016年
- 根据双机器人协调运动学关系,将双机器人协调分为两类,并以双机器人协调焊接任务为例,根据任务要求分析双机器人系统相对运动协调的运动学关系,并进行了仿真验证,仿真结果表明文章所提出的双机器人协调运动关系的正确性。
- 于广东陈琦
- 关键词：双机器人运动学分析
- 光栅衍射效率测试仪前置单色仪光学系统设计
- 2013年
- 光栅衍射效率是衡量光栅性能的重要参数,光栅衍射效率测试系统由光源,前置单色仪,测试用单色仪和探测器这四部分组成,前置单色仪主要是输出所需的单色光并在一定范围内连续可调,本文具体介绍前置单色仪的光学系统设计和模拟,其光学系统像面点列图和实际光线的追迹数据也已经给出。设计的结果保证了仪器光学系统的测量准确性。
- 陈刚陈琦高强
- 关键词：光学系统设计
- 基于UMAC的超精密研磨抛光机工件坐标系的建立
- 2014年
- 在开放式数控系统的研制过程中,基于机床坐标系的加工方式对于某些特定的加工对象不完全能够适用,因此建立工件坐标系很有必要。当不同空间直角坐标系之间进行转换时,常用方法是七参数法,通过最小二乘法求得各参数的最合适值。通过采集原点、X轴正向一点和XOY平面第一象限任意一点三个特定点来转换机床坐标系和工件坐标系,该方法采集点数少,计算值准确。由于安装误差等原因导致机床坐标轴的正交性不准确时,该方法建立的工件坐标系不受其影响。
- 陈琦
- 关键词：超精密加工工件坐标系UMAC
- 大行程纳米级定位工作台的结构设计被引量：9
- 2016年
- 考虑采用静态三步拼接曝光法的扫描干涉场曝光系统的性能与工作台的定位精度及稳定性相关,设计了一种大行程、高精度二维工作台以提高其定位精度。采用摩擦驱动和压电陶瓷微位移机构组合的方式构成宏、微进给机构,由闭式气体静压导轨带动工作台实现沿X、Y两个方向的光栅分度与扫描运动。优化设计了摩擦驱动机构和气体静压导轨结构,并对工作台整体结构固有频率进行了有限元分析。使用自准直仪检测了导轨在X、Y方向的直线性,结果显示其两方向偏航和俯仰精度均在±0.04μm以内。使用激光干涉仪检测了导轨在X方向的定位精度和定位噪声,结果表明,对X向行程为220mm、Y向行程为300mm的工作台,其X方向的定位精度优于±5nm,定位稳定性可达±25nm。得到的结果满足扫描干涉场曝光系统工作台纳米级定位精度的要求。
- 陈琦
- 摩擦传动回转驱动装置
- 本发明涉及一种摩擦传动回转驱动装置，该装置的步进电机与谐波减速器构成动力单元，该动力单元通过电机座与转台基座紧固连接；谐波减速器的输出轴通过联轴器与驱动轮的输入端柔性连接；驱动轮与驱动轮支撑架连接，可以相对于驱动轮支撑架...
- 何煦陈琦韩冰马洪涛
- 200mm-400mm口径的反射镜组件及其支撑调整装置
- 本发明公开了一种支撑调整装置，包括：具有用以安装反射镜的腔室的镜框，且所述腔室的内部具有垫圈槽；设于所述垫圈槽、用以紧密贴合反射镜的前垫圈和后垫圈，所述前垫圈和所述后垫圈分别位于所述反射镜在厚度方向上的两侧；用以将所述前...
- 韩冰张鹏宇马洪涛陈琦
- 文献传递
- 基于直线光栅尺的高精度定位平台的研制被引量：2
- 2016年
- 在精密加工领域,为满足某些精密器件和设备的定位需求,研制了一种高精密定位平台。本定位平台以直线光栅尺为整个系统的位置反馈元件,以直流力矩电机为执行元件,采用摩擦驱动的方式,结合PID算法,完成了高精度定位平台的设计。定位平台可以在200mm的行程范围内,平均定位精度可以达到150nm。同时,设计开发了上位机控制程序,使人机交互更加友好。
- 陈昊陈琦
- 关键词：PID控制
- 源路由控制的研究与实现被引量：3
- 2007年
- 源路由是由信源向路由器提供路由信息,以控制信息转发的路由方式。科研信息化进程中发现,网络环境中同时存在线路拥塞和闲置,从而认识到源路由控制对于大数据量传输的重要价值,通过源路由控制,可以更有效地利用网络资源,为此提出了源路由控制(SRM),并在fedora下实现了原型系统。给出了SRM适用于IPv4、IPv6和各种主流平台的解决方案。
- 王金一南凯陈琦
- 关键词：源路由科研信息化
