陈娉
- 作品数：5 被引量：11H指数：2
- 供职机构：清华大学更多>>
- 相关领域：一般工业技术电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 超灵敏度检漏和校准系统
- 尽管目前商用干式探漏仪的检漏极限已经能达到10Pa·m/s,但对于一些特殊的密封器件,为了保证高可靠性仍然需要发展更高灵敏度,即超灵敏检漏技术。为了适应这种需要,我们研制了一套超灵敏度检漏和校准系统。 为了提高动态检漏极...
- 陈娉陈旭金奇计查良镇
- 关键词：校准系统
- 文献传递
- 二次离子质谱的深度分辨本领被引量：6
- 2000年
- 深度剖析是二次离子质谱在半导体以及各种其它薄膜材料分析中最重要的应用 ,深度分辨本领是表征其分析能力的重要参数 ,国际标准化组织 ( ISO)最近正在研究和制定这方面的国际标准。本文在概述了SIMS深度分辨本领影响因素的基础上 ,推导了δ掺杂层深度分辨函数的解析表达式 ,讨论了其物理意义 ,特别是分辨参数的定义。在 CAMECA IMS4 f仪器上用 5.5ke V的氧束对 Si中 Ga Asδ掺杂多层膜样品进行了深度剖析 ,讨论了所得分辨参数及影响因素。结合国外实验室 ISO巡回测试的结果 。
- 朱怡峥桂东陈娉马农农韩象明查良镇
- 关键词：二次离子质谱半导体
- 超灵敏度检漏技术的研究
- 陈娉
- 关键词：质谱检漏动态模式
- 超灵敏度质谱检漏实验的新结果被引量：5
- 2003年
- 为适应对真空及压力器件密封性日益增长的要求 ,尤其是确保小体积密封真空器件的长期可靠性 ,研制了一套超灵敏度检漏系统。这套全金属的超高真空系统主要由分子泵、离子泵、无油前级泵、消气剂泵和高性能的四极质谱计等组成 ,由于采用了现代先进的真空技术 ,仅在几个小时内就可达到 10 - 6 Pa的工作压强。该系统有两种检漏模式 ,累积模式用于漏率小于 5× 10 - 1 2 Pa· m3/s漏孔的检漏 ,更大的漏率则用动态检漏模式。实验结果表明该系统的最小可检漏率可达 1× 10 - 1 5Pa· m3/s。
- 陈娉陈旭金奇计查良镇
- 关键词：灵敏度质谱检漏动态模式气密性真空系统质谱检漏仪
- 超灵敏质谱检漏
- 陈旭熊兵齐京金奇计黄天斌陈娉肖立波查良镇
- 该项目为保证小体积、高真空器件的长寿命和高可靠性而专门研制，成果可应用于各种高真空密封器件高可靠密封质量的检测，并为极高真空未来的发展准备了条件。该项目采用静态累积法通过四极质谱计实现超灵敏检漏。在研制过程中，采用了当代...
- 关键词：
- 关键词：检漏质谱
