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领域

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主题

  • 2篇电性能
  • 2篇介电
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  • 2篇介电性能
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  • 1篇低介电常数
  • 1篇电学
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  • 1篇毛织
  • 1篇毛织物
  • 1篇介电常数
  • 1篇孔材料
  • 1篇纺织

机构

  • 3篇苏州大学
  • 1篇复旦大学

作者

  • 3篇钱晓梅
  • 1篇卫永霞
  • 1篇宁兆元
  • 1篇俞笑竹
  • 1篇张杰
  • 1篇梁荣庆
  • 1篇叶超
  • 1篇郭鹏飞
  • 1篇朱亚伟

传媒

  • 1篇物理学报

年份

  • 1篇2017
  • 2篇2007
3 条 记 录,以下是 1-3
排序方式:
O_2掺杂对SiCOH低k薄膜结构与电学性能的影响被引量:1
2007年
以十甲基环五硅氧烷(D5)和氧气(O2)作为反应气体,采用电子回旋共振等离子体化学气相沉积(ECR-CVD)方法制备了k=2.62的SiCOH薄膜.研究了O2掺杂对薄膜结构与电学性能的影响.结果表明,采用O2掺杂可以在保持较低介电常数的前提下极大地降低薄膜的漏电流,提高薄膜的绝缘性能,这与薄膜中Si-O立体鼠笼、Si-OH结构含量的提高有关.
卫永霞钱晓梅俞笑竹叶超宁兆元梁荣庆
关键词:介电性能
羊毛织物微尺寸多孔材料改性无异味丝光工艺技术
许海军汪琴芳李晓辉钮胜义朱建峰张杰沈金建庄屹钱晓梅朱亚伟郭鹏飞
课题来源与背景:羊毛纺织制品是结构最复杂的天然纤维之一,因羊毛表面的特殊鳞片组织,导致羊毛染色和化学处理的困难以及毡缩倾向。以氯化剂(二氯异氰尿素盐)去除羊毛鳞片组织的方法是解决羊毛制品毡缩的最常用方法,称为氯化丝光技术...
关键词:
关键词:羊毛织物多孔材料丝光工艺
多孔SiOCH薄膜的O等离子体表面处理研究
随着超大规模集成电路/(ULSI/)的尺寸不断缩小,微电子器件的集成度不断提高,器件内部金属连线的电阻和绝缘介质层的电容所形成的阻容/(RC/)耦合增大,从而使信号传输延时、干扰噪声增强和功率耗散增大。要解决这些问题,就...
钱晓梅
关键词:低介电常数介电性能
文献传递
共1页<1>
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