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钱晓梅
作品数:
3
被引量:1
H指数:1
供职机构:
苏州大学
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
理学
轻工技术与工程
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合作作者
叶超
苏州大学物理科学与技术学院能源...
梁荣庆
复旦大学现代物理研究所
俞笑竹
苏州大学物理科学与技术学院能源...
宁兆元
苏州大学物理科学与技术学院能源...
卫永霞
苏州大学物理科学与技术学院能源...
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机构
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苏州大学
1篇
复旦大学
作者
3篇
钱晓梅
1篇
卫永霞
1篇
宁兆元
1篇
俞笑竹
1篇
张杰
1篇
梁荣庆
1篇
叶超
1篇
郭鹏飞
1篇
朱亚伟
传媒
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物理学报
年份
1篇
2017
2篇
2007
共
3
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O_2掺杂对SiCOH低k薄膜结构与电学性能的影响
被引量:1
2007年
以十甲基环五硅氧烷(D5)和氧气(O2)作为反应气体,采用电子回旋共振等离子体化学气相沉积(ECR-CVD)方法制备了k=2.62的SiCOH薄膜.研究了O2掺杂对薄膜结构与电学性能的影响.结果表明,采用O2掺杂可以在保持较低介电常数的前提下极大地降低薄膜的漏电流,提高薄膜的绝缘性能,这与薄膜中Si-O立体鼠笼、Si-OH结构含量的提高有关.
卫永霞
钱晓梅
俞笑竹
叶超
宁兆元
梁荣庆
关键词:
介电性能
羊毛织物微尺寸多孔材料改性无异味丝光工艺技术
许海军
汪琴芳
李晓辉
钮胜义
朱建峰
张杰
沈金建
庄屹
钱晓梅
朱亚伟
郭鹏飞
课题来源与背景:羊毛纺织制品是结构最复杂的天然纤维之一,因羊毛表面的特殊鳞片组织,导致羊毛染色和化学处理的困难以及毡缩倾向。以氯化剂(二氯异氰尿素盐)去除羊毛鳞片组织的方法是解决羊毛制品毡缩的最常用方法,称为氯化丝光技术...
关键词:
关键词:
羊毛织物
多孔材料
丝光工艺
多孔SiOCH薄膜的O等离子体表面处理研究
随着超大规模集成电路/(ULSI/)的尺寸不断缩小,微电子器件的集成度不断提高,器件内部金属连线的电阻和绝缘介质层的电容所形成的阻容/(RC/)耦合增大,从而使信号传输延时、干扰噪声增强和功率耗散增大。要解决这些问题,就...
钱晓梅
关键词:
低介电常数
介电性能
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