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郭伟伟
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供职机构:
同济大学
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相关领域:
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合作作者
闻瑞梅
同济大学
邓守权
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郭伟伟
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第十三届全国...
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2004
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去除半导体工艺用水中的硼
本文主要研究了EDI(Electrodeionization)对高纯水中硼的脱除方法.通过对电压、进水电导率(淡室、浓室)、流量(淡室、浓室、极室)、pH值等因素的研究,得出EDI最佳脱硼条件.EDI进水硼浓度为50ìg...
闻瑞梅
邓守权
郭伟伟
关键词:
半导体工艺
电脱盐
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