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郭伟伟

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：同济大学更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇国内会议论文

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇电脱盐
  • 1篇工艺用水
  • 1篇半导体
  • 1篇半导体工艺
  • 1篇硼

机构

  • 1篇同济大学

作者

  • 1篇邓守权
  • 1篇闻瑞梅
  • 1篇郭伟伟

传媒

  • 1篇第十三届全国...

年份

  • 1篇2004
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
去除半导体工艺用水中的硼
本文主要研究了EDI(Electrodeionization)对高纯水中硼的脱除方法.通过对电压、进水电导率(淡室、浓室)、流量(淡室、浓室、极室)、pH值等因素的研究,得出EDI最佳脱硼条件.EDI进水硼浓度为50ìg...
闻瑞梅邓守权郭伟伟
关键词：半导体工艺电脱盐
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