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压电铁电薄膜的制备方法: 一种锆钛酸铅系陶瓷制备技术领域的压电铁电薄膜的制备方法，通过配制前驱体溶液、利用PLD法制备衬底以及利用Sol-Gel法在PZT结晶种子层上制备压电铁电薄膜实现。本发明利用PLD和Sol-Gel相结合的方法制备的PZT厚...; 郑慈航唐刚刘景全李倩倩尹桂林余震何丹农

利用PZT块材制备微型压电悬臂梁采能器的研究被引量：7: 2011年; 采用压电陶瓷(PZT)片状块材设计并制作了一种可集成于微机电系统的压电悬臂梁能量采集器。介绍了元件的整体制备流程,包括湿法化学蚀刻、反应离子(RIE)干法蚀刻、UV-LIGA等流片技术。该文利用环氧树脂将PZT紧密粘结在基片上的方法步骤和工艺参数作了详细描述,最终获得了2 000μm×750μm×500μm(长×底宽×尖宽)的梯形悬臂梁结构,PZT层厚度为16.7μm,并在其自由端装配Ni质量块以降低元件的固有频率。通过自搭建的检测系统测得,该能量采集器在1阶谐振工作状态(824.7 Hz,1g加速度强度)下获得了峰-峰值为1 160 mV的输出电压,是利用PZT薄膜制备的同尺寸采能器的2倍。; 郑慈航唐刚刘景全李以贵余震何丹农杨春生; 关键词：压电发电微机电系统

超声液体环境下压电式振动能量采集的研究被引量：4: 2011年; 针对在液体环境下工作的器件不利于直接供能这一难题,制作了一种可在液体环境下工作的振动能量采集器,采用压电悬臂梁结构在液体环境中采集水中的超声能量,在32 kHz超声频率激励下,最高获得了5.04 V的输出电压。通过改变超声波与悬臂梁的相对方向及液体盐分质量分数,发现能量采集器在超声液体环境下工作的发电效率随盐分质量分数的增加而减小;在当悬臂梁与超声换能器平面的夹角为45°~60°时,能量采集器的发电效率最高。; 郑慈航唐刚刘景全尹桂林余震何丹农; 关键词：超声波振动

磁控反应溅射MoS_2/Ti/C复合薄膜的组织结构及摩擦磨损性能被引量：1: 2011年; 为了提高MoS2薄膜在室温潮湿大气条件下的摩擦磨损性能,通过磁控反应溅射制备了MoS2/Ti/C复合薄膜。采用能谱仪(EDS)、X射线衍射仪(XRD)、场发射扫描电子显微镜(FESEM)对薄膜的成分、相组成和形貌进行表征,采用纳米压痕仪测试薄膜的结合力、纳米压痕硬度,采用多功能微摩擦磨损试验机测试薄膜的摩擦系数,并采用真彩色高分辨率共聚焦显微镜观察薄膜的磨损形貌。结果表明:与MoS2薄膜相比,含非晶态Ti和C的MoS2/Ti/C复合薄膜的(002)滑移面平行于基体表面生长,不含(100)面,结构致密,与基体的结合力提高了7.05倍,纳米压痕硬度提高了7.11倍;在室温潮湿大气条件下,MoS2/Ti/C复合薄膜比MoS2薄膜具有更低的摩擦系数和更优异的耐磨性能,平均摩擦系数为0.103,磨损率为9.67×10-7mm3/(N.m)。; 李倩倩尹桂林郑慈航余震何丹农; 关键词：磁控反应溅射 MOS2薄膜摩擦磨损性能

压电铁电薄膜的制备方法: 一种锆钛酸铅系陶瓷制备技术领域的压电铁电薄膜的制备方法，通过配制前驱体溶液、利用PLD法制备衬底以及利用Sol-Gel法在PZT结晶种子层上制备压电铁电薄膜实现。本发明利用PLD和Sol-Gel相结合的方法制备的PZT厚...; 郑慈航唐刚刘景全李倩倩尹桂林余震何丹农; 文献传递

添加TiN对MoS_2基复合薄膜结构和性能的影响被引量：5: 2011年; 通过磁控反应溅射方法制备MoSx-TiN复合薄膜,研究添加少量TiN对MoS2基薄膜结构和性能的影响.薄膜的结构和性能通过X射线光电子能谱仪(XPS)、X射线衍射仪(XRD)、场发射扫描电子显微镜(FESEM)及UMT-2多功能微摩擦磨损试验机等进行了表征.结果表明:与纯MoS2薄膜相比,少量TiN的添加使得MoSx-TiN复合薄膜(002)晶面择优取向且结构致密.与纯MoS2和MoS2-Ti薄膜相比,MoSx-TiN复合薄膜在潮湿大气条件下具有更优异的摩擦磨损性能,更低的摩擦系数.; 李倩倩尹桂林郑慈航余震何丹农; 关键词：MOS2 TIN 磁控反应溅射摩擦磨损性能

PZT薄膜的溶胶凝胶法制备及在MEMS中的应用研究: 采用PZT压电陶瓷制备的压电悬臂梁,是制备振动能量采集器的关键元件。本文详细介绍了压电悬臂梁的制备步骤,并着重探讨了其中最为关键的PZT铁电薄膜制备以及器件流片工艺。本文通过Sol-Gel法,采用全国产试剂制...; 郑慈航; 关键词：PZT薄膜溶胶凝胶法 MEMS; 文献传递

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郑慈航