董小满
- 作品数：9 被引量：17H指数：3
- 供职机构：清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金浙江省自然科学基金博士研究生创新基金更多>>
- 相关领域：机械工程自动化与计算机技术理学电子电信更多>>
- 干涉显微镜中相移误差分析被引量：8
- 2002年
- 相移误差是影响干涉显微镜测量表面形貌精度的主要因素之一。介绍了四帧算法、五帧算法、四帧免疫算法、五帧免疫算法的原理和计算公式 ,并对其特点进行了分析比较。利用自行研制的带旋转检偏器的干涉显微测量系统 ,分别用四种算法对Ra=0 35μm和Ra=0 .0 9μm粗糙度样块进行了实测。结果表明 ,五帧算法的重复测量精度优于0 5nm ,五帧免疫算法的重复测量精度优于 0 3nm。
- 徐毓娴董小满蔡昕惠梅
- 关键词：微分干涉显微镜相移误差表面形貌测量
- 相移算法模拟实验研究被引量：3
- 2002年
- 相移干涉技术在表面形貌定量测量中得到广泛应用。其中相移算法是影响相位测量精度的关键之一。分析比较了常用四种算法:四帧算法、五帧算法、四帧免疫算法、五帧免疫算法原理公式及对相位测量的影响。用计算机进行模拟实验,提出样本方差和最大偏差两个参数评价算法的优劣。得出传统四帧算法对相移误差最敏感,尽量少用,优先采用五帧算法的结论,有实用性。
- 董小满徐毓娴惠梅
- 关键词：相移干涉
- 可定量测量的透射式微分干涉显微系统被引量：3
- 2003年
- 为满足透明体表面形貌定量测量的需要,研制成功了透射式微分干涉显微测量系统,该系统包括透射式微分干涉显微镜,CCD摄像机,检偏器旋转驱动部件,计算机及相关测量软件。介绍了测量原理、公式、相移干涉方法以及将一台普通反射式干涉显微镜,改装成透射式微分干涉相衬显微镜的关键技术。利用改装好的装置对几种透明体的形貌进行了重构。结果表明:该系统较好地解决了透明体表面形貌的重构问题,在一般实验室条件下,无须采取任何隔振和环境控制措施,测量系统重复性、稳定性均优于2nm,测量范围不受半个波长的限制,有广阔的应用前景。
- 徐毓娴蔡昕董小满李文江
- 关键词：相移表面形貌
- 用透射式微分干涉相衬显微镜测量表面形貌的方法和装置
- 一种用透射式微分干涉相衬显微镜定量测量透明体表面形貌的方法和装置,属微观物体表面形貌测量技术领域。其特征是在常规透射式微分干涉相衬显微镜的主Nomarski棱镜与检偏器之间加入四分之一波片,并给检偏器加驱动装置,使其可以...
- 徐毓娴李庆祥李文江蔡昕董小满
- 文献传递
- 透射式微分干涉法测量光纤折射率分布的理论与方法研究
- 光纤在通讯、传感、陀螺导航等领域有着广泛的应用,而光纤的折射率决定了光纤的损耗、传导特性等重要参数,因此光纤的折射率分布测量对光纤的制造以及应用都有重要意义。本文对光纤折射率分布的观测进行理论与实验研究,提出采用透射式微...
- 董小满
- 关键词：折射率分布光纤
- 文献传递
- 相移算法模拟实验研究
- 相移干涉技术在表面形貌定量测量中得到广泛应用,其中相移算法是影响相位测量精度的关键之一.分析比较了常用四种算法,四帧算法,五帧算法,四帧免疫算法,五帧免疫算法原理公式及对相位测量的影响.用计算机进行模拟实验,提出样本方差...
- 董小满徐毓娴惠梅
- 关键词：相移干涉计算机模拟
- 文献传递
- 测量光纤折射率分布还原算法的研究
- 2004年
- 用透射式微分干涉法测量光纤内部折射率分布,其原理是利用旋转检偏器对测量光束进行调制,从相位分布和光程分布中计算出折射率分布。其中,从光程分布中解算出折射率分布的算法是关键。讨论了该算法的数学模型,推导了测量公式,并对算法的稳定性和误差进行了分析。利用自行研制的系统对渐变折射率分布光纤进行实测,与在NR 9200光纤测量仪上的结果进行了比较,对主要误差源进行了分析和计算机模拟。实测和模拟计算结果表明,该算法原理正确,系统稳定,测量精度优于10-3,完全可以用来测量光纤折射率分布。
- 董小满柳忠尧陈永良郑颖君殷纯永徐毓娴
- 关键词：光纤折射率
