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胡际璜
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22
被引量:10
H指数:2
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复旦大学
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复旦大学物理学系应用表面物理国...
王迅
复旦大学物理学系应用表面物理国...
蒋最敏
复旦大学物理学系应用表面物理国...
卢学坤
复旦大学物理学系应用表面物理国...
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复旦大学物理学系应用表面物理国...
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1990
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1989
1篇
1986
共
22
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分子束外延生长SiGe合金中位错密度的研究
2003年
Schimmel腐蚀液腐蚀结合高倍光学显微镜观察发现 ,不同尺寸的掩膜窗内生长的 Si Ge外延层中的位错密度在整个外延层中从 Si Ge/Si界面到 Si Ge外延层表面由少到多 ,再由多到少明显地分成 3个区 .无掩膜窗限制的大面积区内的 Si Ge层则只呈现 2个区 .掩膜材料与掩膜窗尺寸不同 ,这 3个区的位错密度也不同 .掩膜形成过程中产生的应力对衬底晶格的影响 ,以及掩膜边界对衬底与外延层的影响是造成这种不同的根本原因 .
林俊
陈岳瑞
胡际璜
张翔九
关键词:
分子束外延生长
SIGE合金
应变弛豫
位错密度
掩膜
Co、Ti/Si_(1-x)Ge_x薄膜快速退火固相反应结构和组分研究
1994年
本文首次研究金属Co与分子束外延Si1-xGex单晶薄膜快速热退火(RTA)固相反应,并对比了CO、Ti与SiGe固相反应时不同的反应规律实验采用RBS、AES、XRD、SEM等分析和测试手段对样品的组分和结构等薄膜特性进行检测.实验发现,Co/Si0.8Ge0,2在650℃热退火后形成组分为Co(Si0,9Ge0.1)的立方晶系结构,薄膜具有强烈择优取向;900℃处理温度,有CoSi2形成,同时Ge明显地向表面分凝.TiN/Ti/Si0.8Ge0.2固相反应时,850℃处理可以形成Ti(Si1-yGey);三元结构,并以(004)晶面为择优取向。薄膜均匀平整,电阻率达到TISi2最低值范围,高温处理未发生组分分凝.从生成物的晶体结构和形成热差异上对实验结果进行了分析.
亓文杰
李炳宗
黄维宁
顾志光
张翔九
盛篪
胡际璜
吕宏强
卫星
沈孝良
关键词:
分子束外延
退火
固相反应
钴
Si_(1-x)Ce_x/Si量子阱发光材料制备及特性研究
被引量:5
1995年
在si(100)衬底上用分子束外延成功生长了Si_(1-x)Ge_x/si量子阱发光材料,发现在生长过程中背景杂质含量直接影响材料的发光特性,用光致发光(PL)和卢瑟福背散射(RBS)对样品质量进行标定。在PL测量中观察到合金量子阱带边激子分辨峰,并对发光峰能和峰宽作了讨论。
杨宇
卢学坤
黄大鸣
蒋最敏
杨敏
章怡
龚大卫
陈祥君
胡际璜
张翔九
赵国庆
关键词:
硅锗合金
发光材料
分子束外延
硅红外探测器
本发明是一种硅红外探测器,它为以硅片为衬底,用δ-掺杂方法制备其能带呈锯齿形调制的超晶格,选择适当的掺杂浓度和掺杂周期,以控制调制深度,使有效带隙调节到需要的数值附近,如0.1ev、0.3ev、0.8ev等,获得相应波长...
王迅
叶令
胡际璜
文献传递
反光电子谱的自动化测量及数据处理
1990年
首次建成了国产反光电子谱仪的自动化数据采集及处理系统。整个测量装置由Apple Ⅱ微机、计数器、PIO 和A/D、D/A 卡等电路组成。
葛毓青
李喆深
胡际璜
戴道宣
关键词:
自动化测量
数据处理
反光电子谱仪的研制
1989年
用经过改进的LEED装置和自制的9.8eV光子探测器研制成反光电子谱仪。测得了Si(111)7×7清洁表面的反光电子谱。
周红
王向东
胡际璜
戴道宣
关键词:
光子探测器
电子倍增器
低能电子
光子能量
真空紫外
电子态
Si(001)上MBE异质生长Ge中表面活化剂Sb的作用的研究
1997年
本文利用RHEED、X射线双晶衍射及TEM等技术,研究了在Si(001)衬底上,用晶化了的无定形Ge层做缓冲层MBE生长Ge时,引入表面活化剂Sb所产生的影响.研究表明,Sb的引入将会使Si(001)衬底上无定形Ge膜的晶化温度显著提高,并在一定的生长条件下,破坏Ge外延层的结晶性.
徐阿妹
朱海军
毛明春
蒋最敏
卢学坤
胡际璜
张翔九
关键词:
半导体
砷化镓
硅
一种新型结构的硅太阳能电池
本实用新型为一种新型结构的硅太阳能电池,由硅衬底、n型材料和金属电极引线构成,其中,n<Sup>+</Sup>区与p<Sup>+</Sup>区设计成梳状交叉的结构形式,使P区被n<Sup>+</Sup>区部分覆盖。此结构...
张翔九
胡际璜
文献传递
总电流谱仪的研制
1989年
用经过改进的LEED装置和本校自制的WF-1型功函数测试仪研制成总电流谱仪。得到了Si(111)7×7再构表面的总电流谱,结果与有关文献报道相近。
王向东
周红
胡际璜
戴道宣
关键词:
LEED
功函数
抛光片
真空室
补偿电压
9μmp^+—GexSi1—x/p—Si异质结内光电红外探测器
被引量:1
1994年
用分子束外延方法生长了p+-GexSi1-x/p-Si异质结,并用平面工艺制成了内光电红外探测器,器件截止响应波长达9μm,在52K时,Rv500K=3.3×103V/W.
龚大卫
卢学坤
卫星
杨小平
胡际璜
盛篪
张翔九
王迅
周涛
叶红娟
沈学础
关键词:
异质结
锗硅合金
红外探测器
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