雷兴华
- 作品数：5 被引量：5H指数：1
- 供职机构：桂林电子科技大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金广西壮族自治区自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术机械工程电子电信更多>>
- 大行程两自由度精密工作台测控系统的研制
- 光刻机是集成电路加工领域的核心设备,也是技术难度最大的设备,目前我国的光刻机整机及分系统技术与国外先进水平有着很大的差距。工件台是光刻机的关键子系统,其核心一个大行程两自由度的精密定位工作台,大行程精密定位技术也是光刻机...
- 雷兴华
- 关键词：光刻机
- 文献传递
- X-Y精密定位平台中宏平台进给系统模型辨识
- 2005年
- 针对所研制的X-Y精密定位工作台系统的设计要求,采用分析建模法,求出了宏平台进给系统的传递函数,通过实验获取宏平台进给系统的摩擦模型。基于进给系统的摩擦补偿,分别运用谱分析法和最小二乘法辨识出宏平台进给系统的频域响应及Z传函。实验结果表明,获得有效的进给系统数学模型为精密定位工作台控制器设计工作提供了依据。
- 李若愚谭永红雷兴华谢扬球
- 关键词：最小二乘法
- 光刻机工件台位移测量系统的设计与实现被引量：5
- 2005年
- 根据所设计光刻机工件台的定位精度要求,选取Renishaw RGH25F直线位移测量光栅作为其位置检测传感器,在此基础上完成了面向TMS320LF2407A DSP接口的工件台位移测量系统的软、硬件设计.实际运行中该测量系统工作稳定、可靠,而且系统还具有重复测量精度高、测量稳定性好和成本相对低廉等优点.
- 雷兴华谭永红李若愚谢扬球
- 关键词：工件台光栅DSP
- X—Y精密数控工作台宏平台的设计及实现
- 2005年
- 一种实际应用于X-Y精密数控工作台之中的宏平台,其摈弃了减速系统,具有结构简单、摩擦阻力小、动作灵敏和扩展潜力强等特点.经试验运行,宏平台的技术指标,完全满足X-Y精密数控工作台系统的使用要求,同时也可单独用于要求大行程、中等位移精度的实际生产过程中.
- 谢扬球谭永红雷兴华李若愚
- 关键词：数控工作台减速系统技术指标大行程
- 超精密定位系统宏动平台非平滑非线性动态模型辨识
- 本文介绍了超精密定位系统的宏动平台进给装置的构成,这是个具有库仑摩擦+粘性摩擦这类非平滑非线性的动态系统。为了建立该系统的模型,本文提出机理+参数辨识的混合模型辨识方法,该方法可以较方便地确定模型结构,并确定非平滑非线性...
- 谭永红雷兴华
- 文献传递
