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陈滢

作品数：26 被引量：1H指数：1
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金上海市浦江人才计划项目更多>>
相关领域：自动化与计算机技术一般工业技术电子电信金属学及工艺更多>>

合作作者

文献类型

  • 24篇专利
  • 2篇期刊文章

领域

  • 5篇自动化与计算...
  • 2篇金属学及工艺
  • 2篇电子电信
  • 2篇一般工业技术
  • 1篇理学

主题

  • 13篇感器
  • 13篇传感
  • 13篇传感器
  • 5篇热元件
  • 5篇微悬臂梁
  • 5篇金属
  • 5篇加热元件
  • 4篇压阻
  • 4篇氧化物
  • 4篇微传感器
  • 4篇金属氧化物
  • 3篇悬臂
  • 3篇悬臂梁
  • 3篇纳米
  • 2篇单层膜
  • 2篇淀积
  • 2篇液相检测
  • 2篇乙二胺
  • 2篇乙酸钠
  • 2篇易爆

机构

  • 26篇中国科学院
  • 2篇上海应用技术...
  • 1篇电子科技大学
  • 1篇西安交通大学
  • 1篇郑州轻工业大...

作者

  • 26篇陈滢
  • 22篇李昕欣
  • 14篇许鹏程
  • 9篇于海涛
  • 2篇刘民
  • 2篇李俊纲
  • 2篇陈传钊
  • 2篇包宇洋
  • 2篇杨永亮
  • 1篇李明
  • 1篇韦学勇

传媒

  • 1篇电子技术应用
  • 1篇中国科学：信...

年份

  • 5篇2023
  • 2篇2022
  • 3篇2021
  • 1篇2020
  • 1篇2019
  • 1篇2018
  • 2篇2017
  • 2篇2016
  • 2篇2015
  • 2篇2012
  • 1篇2011
  • 2篇2010
  • 2篇2009
共 26 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
旁热式微传感器及其制造方法
本发明提供一种旁热式微传感器及其制造方法，包括：衬底，衬底内形成有凹槽；焊盘，位于凹槽外围的衬底表面；旁热式微传感器主体，位于凹槽的上方，包括：主体支撑层、旁式加热元件、第一绝缘层及敏感电极，旁式加热元件及敏感电极位于主...
陈滢李昕欣陈传钊
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微传感器及其制备方法
本发明提供一种微传感器及其制备方法，微传感器包括：衬底，衬底的上表面形成有凹槽；热匀散结构层，悬置于凹槽的上方；支撑梁，位于凹槽的上方，且位于热匀散结构层与凹槽的侧壁之间；支撑梁一端与热匀散结构层相连接，另一端与衬底相连...
陈滢李昕欣
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一种气体传感材料及其制备方法和用途
本发明提供一种气体传感材料及其制备方法和用途，所述气体传感器材料包括金属氧化物气敏材料和负载在所述金属氧化物气敏材料上的分子筛。本发明中的气体传感材料用于形成氟代烷烃气体检测的传感器的灵敏度非常高。
许鹏程王雪晴李昕欣陈滢胡嘉豪
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一种差分量热式MEMS气体传感器及气体检测方法
本发明提供一种差分量热式MEMS气体传感器及气体检测方法，该传感器包括检测热电堆、参考热电堆、环境电阻、屏蔽环，检测热电堆及参考热电堆均包括单晶硅衬底、隔热空腔、多个单晶硅热偶对及支撑膜，其中，隔热空腔位于单晶硅衬底内，...
李昕欣许鹏程贾浩张昊智陈滢
一种基于Pd-Ag合金纳米晶的氢气传感器及其制备方法
本发明提供一种基于Pd‑Ag合金纳米晶氢气传感器，包括有金属氧化物敏感材料，所述金属氧化物敏感材料的表面负载有Pd‑Ag合金纳米晶颗粒。本发明进一步提供一种基于Pd‑Ag合金纳米晶的氢气传感器的制备方法及其应用。本发明提...
许鹏程徐东升李昕欣王雪晴于海涛陈滢
一种基于双面表面应力的压阻式微纳传感器及其制备方法
本发明提供一种压阻式微纳传感器，用于检测双面表面应力；所述压阻式微纳传感器包括氧化层包裹的微纳双端固支梁以及离子掺杂区域沿厚度方向完全贯穿微纳双端固支梁的压阻，利用微纳双端固支梁双面受到相同的表面应力时沿该梁轴向产生的轴...
陈滢李昕欣
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一种树枝状氧化锌纳米线阵列的制备方法
本发明提供一种树枝状氧化锌纳米线阵列的制备方法，包括以下步骤：1）清洗基底表面；2）采用原子层沉积工艺在基底表面沉积一层氧化锌种子层；3）在基底上采用水热法生长氧化锌纳米线阵列；4）再将基底清洗并干燥后，形成棒状氧化锌纳...
陈滢许鹏程李昕欣徐涛郑丹
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一种湿法腐蚀制作集成压阻SiO<Sub>2</Sub>悬臂梁的方法
本发明涉及一种使用湿法腐蚀在硅片单面低成本制作集成压阻二氧化硅悬臂梁的方法，属于硅微机械制造技术领域。具体特征是使用四甲基氢氧化铵水溶液通过各向异性腐蚀释放二氧化硅悬臂梁结构，并且使用钛金铬三层复合金属作为引线，与硅压阻...
李昕欣陈滢杨永亮
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利用单根微机械悬臂梁实现多种物质检测的方法
本发明涉及一种利用单根微机械悬臂梁实现多种物质检测的方法及悬臂梁的制作，特征在于在悬臂梁高阶弯曲模态振幅为零处和悬臂梁的自由端处表面分别淀积不同的特异性识别的敏感膜，利用振幅为零处在高阶模态下质量检测灵敏度为零，而自由端...
于海涛李昕欣李俊纲许鹏程陈滢
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液相检测的谐振式微悬臂梁生化传感器及其制备方法
本发明提供一种液相检测的谐振式微悬臂梁生化传感器及其制备方法，包括在谐振式微悬臂梁上以光刻胶为牺牲层，光刻形成环状凹槽；沉积疏水材料，在环状凹槽中形成疏水侧壁作为敏感池，其余部分形成疏水薄膜；通过刻蚀图形化疏水材料，在疏...
于海涛许鹏程李昕欣陈滢包宇洋
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