文莉
- 作品数：39 被引量：275H指数：4
- 供职机构：中国科学技术大学更多>>
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- 相关领域：电子电信理学一般工业技术电气工程更多>>
- 一种用于高密度信息存储中数据读取的新方法的理论和实验研究(英文)
- 2006年
- 通过测量压电悬臂梁的等效电容来检测悬臂梁的振动信息,以应用于基于扫描探针技术的高密度信息存储中进行数据读取.在压电悬臂梁的PZT压电层上施加交流电场使其工作在共振状态,并使其自由端与存储介质进行周期性的接触.当悬臂梁的自由端扫描到数据点时,其自由端的振幅和所受到的外力将发生变化,进而引起PZT压电层的介电常数发生变化.因此,通过检测悬臂梁上压电层的等效电容变化,便可以得到悬臂梁的振幅改变量,从而实现了对存储介质上数据的读取.实验结果表明,该可以实现1nm的位移检测分辨率.
- 许晓慧赵钢文莉吴亚雷褚家如
- 关键词：PZT悬臂梁电容检测数据存储
- 微小等离子体发生器刻蚀机理的研究被引量：1
- 2008年
- 采用二维流体模型对扫描刻蚀加工中的微小等离子体发生器的刻蚀机理进行了数值仿真研究。该微小等离子体发生器为微空心阴极放电器件,当工作气体为SF6,工作气压在5 kPa^9 kPa时,空心阴极处微孔半径为0.25μm时,空心阴极外部区域的F原子的有效弥散长度在0.5μm^1.8μm之间变化,且浓度在3×1011cm-3~1.7×1012cm-3之间,基本满足扫描刻蚀加工的需求。
- 王海文莉向伟伟张秋萍褚家如
- 关键词：等离子体模拟
- 基于卡门涡街的水下振动能量采集器的设计与研究（英文）被引量：4
- 2019年
- 针对传统的单自由度压电能量采集器工作带宽窄的现状,提出了在水下流激振动环境下的一种基于卡门涡街的二自由度宽频压电能量采集器来提高压电能量采集器的带宽。3种二自由度压电能量采集器分别被设计、制造,并且测试了能量采集性能。结果表明,采用二自由度能量采集器比采用传统的单自由度能量采集器具有更好的采集效率。根据仿真和实验结果,H型压电能量采集器具有更好的振动能量采集效率。
- 王海金标姚刚杨春来郑衍畅文莉
- 关键词：无线传感网络卡门涡街
- 一种用于高密度信息存储中数据读取的新方法的理论和实验研究
- 本文通过测量压电悬臂梁的等效电容来检测悬臂梁的振动信息,以应用于基于扫描探针技术的高密度信息存储中进行数据读取.在压电悬臂梁的PZT压电层上施加交流电场使其工作在共振状态,并使其自由端与存储介质进行周期性的接触.当悬臂梁...
- 许晓慧赵钢文莉吴亚雷褚家如
- 关键词：PZT悬臂梁电容检测数据读取等效电容
- 文献传递
- 用于扫描刻蚀加工的微小等离子体反应器的设计和实验被引量：1
- 2005年
- 提出了一种新的基于并行探针的扫描等离子体刻蚀加工方法,设计并研制了其中的核心器件——微小等离子体反应器,测量了该器件的伏安特性曲线,分析了其电学性能随工作气压和器件尺寸的变化规律,以及器件损坏的机制,实验结果表明,当放电气体为SF6,工作气压在2 000-6 000 Pa之间变化时,该器件能产生较为稳定的微等离子体,放电电压在390-445 V之间,功率密度在10-150 W/cm2之间,从而为进一步将其应用到扫描硅刻蚀加工提供可能。
- 王海文莉褚家如
- 关键词：微机电系统伏安特性曲线
- 大气压等离子体微射流阵列空间均匀性的纹影摄影研究被引量：2
- 2019年
- 大气压等离子体微射流阵列具有高电子密度、高效率、可进行无掩膜加工等特点,在材料处理和生物医学等领域有潜在的应用前景。然而由于阵列中相邻微射流间存在强烈相互影响以及射流与环境空气间的相互作用,等离子体微射流阵列存在着空间分布不均匀的问题。研究喷嘴尺寸为300μm的1×3微射流阵列,采用高速纹影摄影技术从流场角度研究工作电压和气体流速对微射流阵列的空间均匀性的影响。研究结果表明,等离子体放电会使得气流的层流长度明显变短,且施加电压越高时,阵列中侧向气流的偏转角越大,通入的气体流速增大时,偏转角随之减小。实验的结果有助于理解微射流阵列中射流间的相互影响机理,对于后续微射流阵列的应用研究具有重要的指导意义。
- 郭飞张曼周孰能文莉
- 关键词：流场
- 掺锡氧化铟基底上锆钛酸铅铁电薄膜的制备与表征
- 2007年
- 用溶胶-凝胶工艺在掺锡氧化铟导电氧化物基底上制备了锆钛酸铅(PZT)铁电薄膜.采用快速热处理工艺改进铁电薄膜的晶格取向,用X射线衍射仪分析了薄膜的结晶取向,分别基于Al/PZT/ITO,ITO/PZT/ITO电容结构利用Sawyer-Tower电路原理测试了薄膜的铁电性能.结果表明,在磁控溅射法生长的ITO表面能够制备出具有钙钛矿结构的(110)取向的PZT铁电薄膜,所得薄膜的相对介电常数达到1000,剩余极化强度Pr达到和Pt基底上接近的15.2 uc/cm2,矫顽场强Ec达到70.8 kV/cm.并且利用TF Analyzer 2000铁电分析仪测试了PZT铁电薄膜的疲劳特性,发现ITO底电极上PZT薄膜经过108次反转后,剩余极化强度仅下降15%.研究表明:磁控溅射法制备的掺锡氧化铟透明导电薄膜ITO可以作为铁电薄膜的上下电极.
- 刘爽吴亚雷许晓慧文莉黄文浩褚家如
- 关键词：铁电薄膜电学性能
- 基于大气压等离子体喷管的并行无掩模扫描微纳米加工装置和方法
- 本发明公开了一种基于大气压等离子体喷管的并行无掩模扫描微纳米加工装置和方法，加工装置包括大气压等离子体喷管、集成在喷管下端的喷嘴针尖阵列，所述喷嘴针尖阵列的下部设有三维精密移动台，喷嘴针尖阵列包括多个设有微纳米孔的喷嘴针...
- 文莉戴一川
- 文献传递
- 几何约束下单晶硅应力非均匀氧化影响因素研究
- 在硅微纳加工技术中，几何约束下单晶硅应力非均匀氧化有着广泛应用，例如高深宽比AFM针尖锐化工艺;高精度纳米点、线及复杂结构制造工艺等。在微等离子体无掩模刻蚀加工研究中，等离子体需从倒金字塔空心针尖尖端的纳米孔导出，以实现...
- 向伟玮文莉张秋萍刘勇褚家如
- 关键词：单晶硅微纳加工
- 文献传递
- 小波去噪的几种方法被引量：232
- 2002年
- 利用小波方法去噪 ,是小波分析应用于工程实际的一个重要方面。该文介绍了几种常用的小波去噪方法 ,分别是小波分解与重构法、非线性小波变换阈值法、平移不变量法和小波变换模极大值法。将上述几种方法分别用于叠加了高斯白噪声的仿真信号的去噪处理 ,并通过对几种方法优缺点的比较 ,为小波去噪的方法选择提供了一个参考依据。
- 文莉刘正士葛运建
- 关键词：小波变换去噪阈值模极大值信号处理
