徐嘉佳
- 作品数：3 被引量：10H指数：1
- 供职机构：北京大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 用升华法释放表面硅工艺中的悬浮结构
- 2002年
- 介绍了在谐振器结构释放后的干燥过程中,采用的一种有效的、防粘附的方法———升华法。在升华法的基础上,开发了充分置换升华法,对若干种释放方法进行实验、比较,确定了充分置换法的更优性;并找出了影响分离长度的因素,为提高结构释放产品率奠定了基础。
- 郝一龙武国英吴琳徐嘉佳
- 关键词：粘附
- 双参数微型气体传感器的研究
- 该文针对目前气体传感器面临的主要障碍--选择性差的问题,提出通过检测被测气体分子的荷质比来区分被测气体从而提高选择性的思想,通过对微型气体传感器研究现状的仔细分析,发现现有的气体传感器均不能实现对被测气体分子荷质比的检测...
- 徐嘉佳
- 关键词：微型电子机械系统谐振式传感器
- 集成化MEMS工艺设计技术的研究被引量：10
- 2004年
- 针对目前MEMS研究领域中普遍存在的器件设计与加工工艺脱节的问题 ,提出了一种集成化的MEMS工艺设计技术 ,即在器件设计的过程中充分考虑加工工艺的特点和制约 ,提高器件的工艺设计能力和效率 .这种工艺设计方法以结构材料、反应材料、工艺设备和环境限制的数据库为基础 ,从工艺过程为结构材料和反应物之间的物理或化学反应的角度出发 ,提炼出了工艺设计规则 ;在设计过程中 ,结合版图尺寸和具体的工艺参数 ,对工艺过程中器件结构二维断面上的所有结构材料的状态和图形进行计算和记录 ,并以此信息为依据结合设计规则判断工艺流程的合理性 ,并把相应的工艺信息、材料信息等代入器件的结构分析中去 ,实现MEMS器件的集成化工艺和结构设计 .最后三维可视化设计工具IMEE1.0实现了集成化的设计技术 ,并通过对一个结构比较复杂的气体传感器进行设计和制作 ,验证了这种集成化工艺设计技术的可行性和实用性 .
- 张海霞郭辉张大成徐嘉佳郝一龙
- 关键词：MEMS器件版图集成化气体传感器数据库
