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张发荣
作品数:
3
被引量:3
H指数:1
供职机构:
大连交通大学
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相关领域:
一般工业技术
电气工程
理学
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合作作者
薛钰芝
大连交通大学
张力
大连交通大学
钟金德
大连交通大学
周丽梅
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大连交通大学
作者
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张发荣
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薛钰芝
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张力
1篇
周丽梅
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钟金德
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真空
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2006
2篇
2005
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纳米硅/氧化硅多层膜的电性能及结构研究
2006年
用真空蒸发技术和自然氧化法在玻璃衬底上制备纳米级的硅/氧化硅薄膜和多层膜。本文采用三点法测定了常温、低温下的U-I特性,发现常温、低温下纳米量级的硅/氧化硅多层膜具有类似负阻的特性。SEM检测表明,硅/氧化硅多层膜的厚度和称重法所估算的厚度相符,薄膜表面均匀。TEM和XRD观察表明薄膜主要以无序状态存在,局部有晶化现象。
钟金德
薛钰芝
张发荣
周丽梅
关键词:
多层膜
电性能
纳米多层膜的电性能及表面形貌
被引量:1
2005年
用热蒸发沉积和自然氧化法制备纳米量级的Al/Al2O3及Cr/Cr2O3薄膜和多层膜。本文采用三点法测定了常温、低温下的U-I特性,发现常温、低温下纳米量级的Al/Al2O3及Cr/Cr2O3薄膜具有类似负阻的特性。SEM检测表明,薄膜表面均匀,薄膜的厚度和称重法所得的厚度基本相符。AFM和STM观察表明薄膜表面存在着岛状结构,表面粗糙度在纳米尺度范围内。
张发荣
薛钰芝
张力
关键词:
热蒸发
金属/氧化物与半导体/氧化物多层膜及光伏系统
多层膜的研究是近30年开展起来的,它是表面工程、薄膜技术深入发展的结果。多层膜是由两种或几种材料交替沉积而形成的一种人造层状微结构。它可以由金属/金属,金属/半导体,金属/氧化物,半导体/氧化物或其它材料堆垛形成。目前,...
张发荣
关键词:
光伏系统
多层膜
太阳能电池
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