康念坎
- 作品数：13 被引量：2H指数：1
- 供职机构：中国科学院电子学研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信理学机械工程核科学技术更多>>
- 电子束热加工装置的电子光学系统
- 电子束热加工装置电子光学系统的设计可以分两部分进行:首先是计算电子枪形成的交叉斑的大小和轴向位置,然后根据系统的要求,选定磁透镜的参数,将交叉斑会聚成像到工件面上,获得所需的工作束斑。由于电子束热加工装置所用的电子束参量...
- 康念坎林世昌周广德陶守林
- 关键词：电子束电子光学电子枪磁透镜电子光学系统
- 文献传递
- 变形电子束曝光机成形偏转器的设计和性能被引量：1
- 1990年
- 在变形电子束曝光机中,为使曝光均匀必须保证靶上束斑电流密度物边缘分辨率不随束斑形状和尺寸的变化而改变。实现这一目标的关键是正确设计成形偏转器。本文讨论采用高灵敏度平行板偏转器实现成形偏转时,为达到上述目标应进行的线性补偿和旋转补偿的设计计算方法。给出了用实验方法改变电子源象与偏转板几何中心的轴向距离所测得的线性补偿因子和旋转补偿因子的值。实验结果与计算值符合较好。
- 康念坎江钧基吴伟黄兰友吴明均
- 关键词：电子束曝光机偏转器电子光学
- 用于缩小投影曝光的反对称双磁透镜设计
- 电子束缩小投影曝光技术是制造下一代集成电路（0.1μm以下线宽）最有希望的途径之一。目前美、日等发达国家正在加紧开发这一技术,使之尽快成为21世纪微细电路的主要生产装备。作为缩小投影曝光装置核心部件的电子光学镜筒包括发射...
- 康念坎王理明顾文琪张福安
- 关键词：缩小投影电子束曝光
- 电子束热加工装置的电子光学系统
- 电子束热加工装置电子光学系统的设计可以分两部分进行:首先是计算电子枪形成的交叉斑的大小和轴向位置,然后根据系统的要求,选定磁透镜的参数,将交叉斑会聚成像到工件面上,获得所需的工作束斑。由于电子束热加工装置所用的电子束参量...
- 康念坎林世昌周广德陶守林
- 关键词：电子光学电子枪磁透镜
- 文献传递
- 电子束热加工装置的电子光学系统
- 电子束热加工装置电子光学系统的设计可以分两部分进行：首先是计算电子枪形成的交叉斑的大小和轴向位置，然后根据系统的要求，选定磁透镜的参数，将交叉斑会聚成像到工件面上，获得所需的工作束斑。由于电子束热加工装置所用的电子束参量...
- 康念坎林世昌周广德陶守林
- 关键词：电子光学系统电子枪磁透镜
- 文献传递
- 一种简易方便的软X射线源及其探测装置
- 为了测试平行束软X光透镜对X射线的传输特性,我们研制了一种简易方便的电子枪式软X射线源。该源的电功率约500W．只要改变靶的材料．便可输出从0．7～1．75keV的不同能量的特征X射线．X 射线的强度可调。X射线的强度用...
- 王大椿颜一鸣康念坎
- 关键词：X光透镜X射线光刻
- 文献传递
- 电子束双偏转扫描系统的设计
- 镜后偏转系统相比较，透镜前双偏转系统具有可采用较小的工作距离和容易实现电子束垂直着靶等优点，而且通过在两偏转线圈之间设置一个转角可以降低复合磁聚焦偏转系统象差。该文对系统的结构和电气参数对电子光学特性的影响进行了计算机模...
- 康念坎王理明张福安
- 关键词：电子束
- 多能谱电子束的获得及性能
- 康念坎宋佑诰
- 关键词：电子束能谱性能分析
- DJ-2型可变矩形电子束曝光机电子光学设计
- 1992年
- 本文讨论可变矩形电子束曝光机的电子光学设计,着重分析光路构成和变形偏转补偿等问题。DJ-2型机使用最少的透镜数实现变形束曝光机的功能要求。为实现高速变形偏转,采用高灵敏度串接式平板静电偏转器,通过精确的线性补偿和旋转补偿,使靶上束斑电流密度和分辨率以及原点位置不受束斑尺寸改变的影响。实验结果表明,用发夹型钨丝阴极时的束流密度大于0.4A/cm^2;2×2mm扫描场内边缘分辨率优于0.2μm。
- 康念坎
- 关键词：电子光学电子束曝光机
- 发叉形钨丝阴极温度分布及加热功率计算被引量：1
- 1990年
- 本文用数值积分法计算了两种常用直径(φ=0.12mm和φ=0.18mm)发叉形钨丝阴极的温度分布及所需加热功率的数值,计算结果与实际测量数据误差在10％以内,可作为预先设计灯丝尺寸和加热电源功率的依据。
- 康念坎
- 关键词：电子显微镜灯丝钨丝阴极
