孙海波 作品数:38 被引量:57 H指数:5 供职机构: 山东交通学院理学院 更多>> 发文基金: 国家自然科学基金 山东省自然科学基金 更多>> 相关领域: 电子电信 自动化与计算机技术 一般工业技术 理学 更多>>
Si基扩镓溅射Ga_2O_3反应自组装GaN薄膜 2007年 采用射频磁控溅射工艺在预沉积和预沉积后再分布的扩镓S i基上溅射Ga2O3薄膜氮化反应组装GaN薄膜。用红外透射谱(FTIR)、X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)、选区电子衍射(SAED)和荧光光谱(PL)对样品进行组成、结构、形貌和发光特性的分析。测试结果表明:采用此方法得到六方纤锌矿结构的GaN薄膜。同时显示预沉积的扩镓硅基较预沉积后再分布的扩镓硅基更适合GaN薄膜的生长。 孙振翠 原所佳 孙海波关键词:GAN薄膜 射频磁控溅射 Ga近硅表面连续低浓度分布特性分析 被引量:2 2005年 为进一步揭示Ga在SiO_2/Si系统下的完整扩散特性和分布行为,利用扩展电阻(SRP)分析方法,对恒定源、限定源,二次氧化(指磷扩散的再分布过程)不同温度和气氛,Ga在近硅表面微区域浓度连续性变化状态进行了系统研究。结果表明,恒定源掺杂过程有Ga的低浓度区形成;限定源再分布过程Ga出现反扩散特性;二次氧化过程Ga产生异常分凝特性。上述分布行为的综合效果,导致近硅表面Ga的浓度处于耗尽状态。对Ga的表面耗尽,可通过适当的工艺方法给予补偿,因此Ga基区晶体管的电学性能仍然优于同类产品。 裴素华 修显武 孙海波 黄萍 于连英关键词:GA 一种石墨相氮化碳改性乳化沥青及其光催化应用 本发明公开了一种石墨相氮化碳改性乳化沥青,该改性乳化沥青的组分含量以重量份计为:乳化沥青100份、石墨相氮化碳5~10份水性聚合物2~6份;是以石墨相氮化碳分散在水性聚合物中,然后与乳化沥青在高速剪切机中混匀制得。本发明... 庞来学 孙海波 唐新德 冯正义 王晓英 胡秀颍 陈建中文献传递 P型杂质Ga在SiO_2-Si内界面分凝规律研究 2003年 采用开管方式和SiO_2/Si系统,实现了P型杂质Ca在硅中的可控制掺杂。借助二次离子质谱(SIMS)和扩展电阻(SRP)分析方法,对已掺Ga的杂质硅,在二次氧化过程中产生的分凝效应进行了系统研究,首次得出Ga分凝的规律性,导出了Ca在SiO_2-Si内界面Si一侧最低浓度值随时间变化的表达式。为全面理解Ga的扩散特性和建立开管扩Ga模型奠定了基础。 裴素华 修显武 孙海波 周忠平 张晓华关键词:GA 钙 掺杂 半导体器件 热壁化学气相沉积Si基GaN晶体膜的研究 被引量:1 2004年 采用热壁化学气相沉积工艺在 Si(111)衬底上生长 GaN 晶体膜,并对其生长条件进行研究。用 X 射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)、荧光光谱(PL)对样品进行结构、形貌和发光特性的分析。测试结果表明:用此方法得到了六方纤锌矿结构的 GaN 晶体膜。实验结果显示:采用该工艺制备 GaN 晶体膜时,选择 H2 作反应气体兼载体,对 GaN 膜的形成起着非常有利的作用。 曹文田 孙振翠 魏芹芹 薛成山 孙海波Au点阵模板控制生长ZnO堆垒单晶棒 被引量:2 2010年 采用磁控溅射技术在Si(111)衬底上溅射Au薄膜,900℃退火生成Au点阵模板,在Au点阵模板上溅射ZnO薄膜,O2气氛下1 000℃退火制备了ZnO堆垒单晶棒。研究了不同直径Au点阵模板对ZnO单晶棒结构性能的影响。采用扫描电镜(SEM)、高分辨透射电子显微镜(HRTEM)、X射线衍射(XRD)、X射线光电子能谱(XPS)对样品结构形貌进行了分析。结果表明,生成有序排列的ZnO棒均由诸多六方纤锌矿单晶堆垒而成,较小Au点阵生成单晶棒的直径约为100nm。室温光致发光PL谱表明在376nm出现一个较强近紫外发射,在488nm附近出现一个较宽的深能级绿光发射,说明所制备样品具有良好的发光特性。 孙海波 石锋 曹玉萍 郭永福 刘文军 薛成山关键词:氧化锌 磁控溅射 光学特性 扩Ga基区高反压晶体三极管V—1特性分析 2002年 从器件物理的角度,对杂质、掺杂方式不同,形成基区的高耐压晶体三极管I-V负阻效应随机性进行分析。结果认为,负阻摆幅的大小对小电流注入下放大性能的优劣产生直接影响,而对发射极-收集极间的真正击穿电压并无减小损失;进一步证明了在SiO_2/Si系统中,开管扩Ga形成的晶体管,具有耐压高、漏电流小的特点。 修显武 孙海波 裴素华 杨利 周忠平 郭兴龙关键词:镓 负阻效应 击穿电压 电流放大系数 基于调控服役环境的功能胶凝新材料技术及其应用 庞来学 唐新德 梁训美 孙海波 史红 陆诗德 王晓英 乔永军 胡秀颖 谭旭翔 刘秀娥 该项目属土木工程领域的建筑材料科学技术范畴。 胶凝材料的服役环境影响着公共设施的安全与环境生态。路面凝冰会使道路的抗滑性能大幅度降低,影响车辆的操作稳定性和行驶安全,严重影响道路交通安全和运输效率,还会直接或间接造成路面...关键词:关键词:胶凝材料 建筑材料 磁控溅射碳化硅膜的制备及其光致发光特性 被引量:6 2004年 采用磁控溅射方法制备了SiC薄膜,然后采用电化学方法将其腐蚀后获得具有纳米结构的多孔碳化硅。样品的PL谱表明,未经电化学腐蚀的薄膜能发出弱的紫光,峰值在392nm;当样品用电化学的方法腐蚀后,获得位于376nm的紫外光发射,且发光强度得到极大提高。 李玉国 王强 石礼伟 孙海波 薛成山 庄惠照关键词:SIC 磁控溅射 电化学腐蚀 Nb^(5+)掺杂与热处理对TiO_2基材料气敏特性的影响 被引量:3 2004年 TiO2是响应三甲胺(TMA)气体最佳的金属氧化物半导体材料,为保持TiO2基TMA旁热式气敏器件具有较高灵敏度和较低空气阻值(Ra),相应降低器件加热功率RH,本文通过N2气氛高温退火、高价Nb5+掺杂和长时间烧结等方法,提高TiO2基敏感材料电导率获得成功。实验与理论证明:降低氧分压可增强TiO2自身半导化程度;掺入10%左右Nb2O5,Nb5+替代Ti4+形成固溶体,可使TiO2得到最佳半导化效果;采用长时间的烧结处理,促使Ti3+转化为Ti4+,进一步提高材料电导率和器件稳定性,从而为制造低阻、高灵敏度、高选择性动物食品测鲜传感器开辟了一条新途径。 裴素华 孙海波 王强 孙振翠 石礼伟关键词:TIO2